[发明专利]盘状物夹持装置有效
申请号: | 201210406346.2 | 申请日: | 2012-10-23 |
公开(公告)号: | CN102945820A | 公开(公告)日: | 2013-02-27 |
发明(设计)人: | 刘福生;张豹;王锐廷;吴仪 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盘状物 夹持 装置 | ||
1.一种盘状物夹持装置,包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴,其特征在于,所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组,且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件,所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转;
所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件,用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转;所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件,用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转;
所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件旋转中心上方相对的位置均设置有弹性体,用于径向弹开所述第一夹持元件和第二夹持元件。
2.根据权利要求1所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述第一夹持元件的重心位于其旋转中心的上方,所述第二夹持元件的重心位于其旋转中心的下方;
所述第一驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件旋转中心下方相对的位置;所述第二驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件旋转中心下方相对的位置。
3.根据权利要求2所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述第一驱动组件包括位于所述卡盘主体第一径向槽内的第一顶杆和位于所述卡盘主体第一轴向槽内的第一滑动导向块,且所述第一径向槽和第一轴向槽相通,所述第一滑动导向块可在所述第一轴向槽内上下移动,用于顶出所述第一顶杆;所述第二驱动组件包括位于所述卡盘主体第二径向槽内的第二顶杆和位于所述卡盘主体第二轴向槽内的第二滑动导向块,且所述第二径向槽和第二轴向槽相通,所述第二滑 动导向块可在所述第二轴向槽内上下移动,用于顶出所述第二顶杆;
所述第一驱动组件和第二驱动组件还分别包括用于驱动所述第一滑动导向块和第二滑动导向块上下移动的驱动源。
4.根据权利要求3所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述第一轴向槽和第二轴向槽沿圆周方向连通,且所述第一滑动导向块和第二滑动导向块为一体结构。
5.根据权利要求3或4所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述第一滑动导向块和第二滑动导向块的顶端为具有分别凸向所述第一顶杆和第二顶杆设定弧度的圆弧面。
6.根据权利要求3所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述驱动源为气缸。
7.根据权利要求3所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述驱动源为电磁铁。
8.根据权利要求7所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述第一滑动导向块和第二滑动导向块底端分别镶嵌一磁铁;或
所述第一滑动导向块和第二滑动导向块均为铁磁性材质。
9.根据权利要求1所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述卡盘主体上具有至少三个盘状物支撑,用于轴向定位所述盘状物。
10.根据权利要求1所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述卡盘主体为以所述旋转轴与所述卡盘主体固定点为中心,两组,每组由至少三个沿径向分布的辐条构成的辐条状支撑体;或
以所述固定点为中心的圆盘。
11.根据权利要求1所述的盘状物夹持装置,其特征在于,所述弹性体包括挡块,所述挡块通过一弹簧可压缩固定在所述卡盘主体侧壁上的第三径向槽中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造