[发明专利]装载装置

权利要求书

1.一种装载装置，其特征在于，包括：

腔室，所述腔室侧壁具有输入阀门；

对应所述输入阀门设置的机械手，所述机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；

位于所述腔室内的基座，所述基座与第二驱动装置连接，用于带动所述基座相对于所述腔室上下移动；

固定于所述基座表面且若干重叠设置的卡槽，所述卡槽用于将晶圆固定于基座上方；

固定于卡槽和输入阀门之间的传感器，所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，且所述传感器高于位于所述机械手下一层的晶圆表面，所述机械手的标准水平位置为所述机械手未发生偏移时，机械手经过输入阀门进入腔室后的水平位置；

所述传感器与第一驱动装置连接，根据所述传感器产生的信号控制所述第一驱动装置停止所述机械手的运动。

2.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述传感器包括：固定于腔室内侧壁上的光信号发生器和光信号接收器，所述光信号发生器和光信号接收器相对设置，由所述光信号发生器产生的光柱自所述输入阀门和卡槽之间穿过，并被所述光信号接收器接收，所述光柱低于所述机械手的标准水平位置，且所述光柱高于在所述机械手标准水平位置下一层的晶圆表面。

3.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，还包括：驱动单元，与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制所述第一驱动装置和第二驱动装置的工作和停止。

4.如权利要求3所述装载装置，其特征在于，所述传感器与驱动单元连接，当所述传感器被触发，向所述驱动单元发送停止信号，使所述第一驱动装置停止工作。

5.如权利要求4所述装载装置，其特征在于，所述停止信号的电压为5V。

6.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述传感器与所述第一驱动装置的电源连接。

7.如权利要求6所述装载装置，其特征在于，当所述传感器被触发，向所述第一驱动装置的电源发送断电信号，使所述第一驱动装置的电源停止供电以停止第一驱动装置的工作。

8.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，还包括：与所述机械手固定连接的机械臂，所述机械臂与所述第一驱动装置连接。

9.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，当所述机械手根据所述传感器产生的信号停止运动后，所述第一驱动装置控制所述机械手按原路径返回初始位置。

10.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述卡槽的数量为20-30个。

11.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，相邻卡槽之间的距离为6毫米-7毫米。

12.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述传感器到所述机械手的标准水平位置的垂直距离为3毫米-3.5毫米。

13.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述输入阀门垂直方向上的宽度为15毫米-25毫米。

14.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括1至3个第一驱动马达；所述第二驱动装置包括1至3个第二驱动马达。

15.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，还包括：位于所述腔室侧壁上的输出阀门，所述输出阀门与所述输入阀门相对；与所述腔室连通的供气通道、排气通道和气压平衡通道。