[发明专利]微机械谐振器

权利要求书

1.一种微机械谐振器，其特征在于，所述微机械谐振器至少包括：

构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括：

两个具有轴对称结构的谐振振子结构，各该谐振振子结构的对称轴至少包括第一对称轴和第二对称轴，且所述的第一对称轴垂直于第二对称轴；

主支撑梁，位于所述第一对称轴上，且两个谐振振子结构通过各自的主支撑梁相互连接；

第一耦合梁，一端连接于相互连接的所述主支撑梁上；

第一锚点，连接于所述第一耦合梁的另一端，且所述第一锚点连接于输出端；

第二锚点，与所述主支撑梁的自由端相连接，其中，一谐振振子结构的第二锚点连接至第一直流电源，另一谐振振子结构的第二锚点接地；  

驱动电极，分别分布于各该谐振振子结构的相对侧，且与各该谐振振子结构之间形成有驱动间隙，所述驱动电极通过电阻连接至第二直流电源，且所述驱动电极通过电容连接至交流电源，其中，与一谐振振子结构相连接的交流电源输出正电压，与另一谐振振子结构相连接的交流电源输出负电压。

2.根据权利要求1所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子对为至少两个时，各该谐振振子对通过第二耦合梁进行连接，各该谐振振子对中，所述的第二锚点通过第二耦合梁连接至主支撑梁。

3.根据权利要求1所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子对为至少两个时，各该谐振振子对通过连接所述第二锚点的主支撑梁的一自由端相互连接，且所述自由端相互连接的主支撑梁通过第二耦合梁连接至第二锚点。

4.根据权利要求1、2或3所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子结构为直拉梁、矩形板、椭圆形板或椭圆环形板。

5.根据权利要求1、2或3所述的微机械谐振器，其特征在于：所述第一耦合梁为直拉梁或弯曲折叠梁。

6.根据权利要求2或3所述的微机械谐振器，其特征在于：所述第二耦合梁为直拉梁或弯曲折叠梁。

7.根据权利要求1、2或3所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子对还包括第三耦合梁，所述第三耦合梁也连接于所述位于第一对称轴上且相互连接的主支撑梁上，且所述第三耦合梁连接有第三锚点；其中，所述第三耦合梁与所述第一耦合梁分别分布于所述第一对称轴两侧。

8.根据权利要求7所述的微机械谐振器，其特征在于：所述第三耦合梁为直拉梁或弯曲折叠梁。

9.根据权利要求4所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子结构为直拉梁时，所述第一对称轴垂直于直拉梁。

10.根据权利要求4所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子结构为矩形板时，所述第一对称轴平行于矩形板的长边或宽边。

11.根据权利要求4所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子结构为正方形板时，所述第一对称轴和第二对称轴分别为正方形板两对角线的延长线。 

12.根据权利要求11所述的微机械谐振器，其特征在于：所述谐振振子对还包括位于所述第二对称轴上且一端连接于所述谐振振子结构的旁支撑梁、以及连接于所述旁支撑梁另一端的第四锚点。