[发明专利]一种二极管半成品酸洗转换设备无效
| 申请号： | 201210394967.3 | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103820803A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 徐康;邵云 | 申请（专利权）人： | 常州泰坦机械有限公司;常州星海电子有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/00 | 分类号： | C23G3/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213034 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 半成品 酸洗 转换 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种二极管半成品酸洗转换设备，包括控制柜(10)，控制柜(10)上设有控制台(9)，其特征在于，控制台(9)旁边设有操作台，操作台上设有安装X轴机械手(2)的龙门立板，X轴机械手(2)的滑台安装板上设有Z轴机械手(1)和固定式摄像头(5)，Z轴机械手(1)的滑台安装板上安装有专用治具(3)，操作台上龙门立板下设有垂直于X轴机械手(2)和Z轴机械手(1)的Y轴机械手一(6)和Y轴机械手二(7)，Y轴机械手一(6)上设有酸洗板工作台(8)，Y轴机械手二(7)上设有烘烤板工作台(4)。
2.根据权利要求1所述的一种二极管半成品酸洗转换设备，其特征在于，固定式摄像头(5)为CCD工业摄像头。
3.根据权利要求1所述的一种二极管半成品酸洗转换设备，其特征在于，Y轴机械手一(6)、Y轴机械手二(7)、Z轴机械手(1)和X轴机械手(2)均设有独立驱动装置。
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