[发明专利]扩散机台

权利要求书

1.一种扩散机台，其特征在于，包含：

一炉管，包括一开口与一第一表面，该第一表面位于该开口的外周围；

一炉门，包括与该第一表面对应的一第二表面，其中该第二表面可与该第一表面相互接触；及

一护盖，设于该第一表面与该第二表面中的至少一者上。

2.根据权利要求1所述的扩散机台，其特征在于，该护盖设置在该第一表面上。

3.根据权利要求2所述的扩散机台，其特征在于，该护盖具有二延伸部，该二延伸部分别垂直该第一表面且同向延伸。

4.根据权利要求3所述的扩散机台，其特征在于，该二延伸部分别接触该炉管的该开口处的内管壁与外管壁。

5.根据权利要求1所述的扩散机台，其特征在于，该护盖配置在该第二表面上。

6.根据权利要求1所述的扩散机台，其特征在于，该护盖包括一第一单元与一第二单元，该第一单元设置在该第一表面上，该第二单元设置在该第二表面上。

7.根据权利要求1至6中任一项权利要求所述的扩散机台，其特征在于，该护盖的材质包括石英。

8.根据权利要求1所述的扩散机台，其特征在于，该炉门闭合于该炉管的该开口时，该第一表面、该护盖与该第二表面依序彼此接触。

9.根据权利要求1所述的扩散机台，其特征在于，于该炉门闭合于该炉管的该开口时，该第一表面与该第二表面相互平行。