[发明专利]扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法、以及热辅助磁头元件的检查方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够测定近场光和磁场这两者的扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法、以及用扫描探头显微镜进行近场光计测、微小尺度磁场计测而检查薄膜热辅助磁头元件的热辅助磁头元件的检查方法及其装置。 

背景技术

作为下一代硬盘用的磁头，人们已经开始讨论研究日本专利特开2010－182394号公报（专利文献1）以及日本专利特开2011－86362号公报（专利文献2）、日本专利特开2011－113595号公报（专利文献3）等中记载的热辅助磁头元件。从热辅助磁头元件发生的近场光，为从头元件开始20nm以下的宽度范围，该宽度决定硬盘的写入轨道宽度。对实际动作时的近场光的强度分布、发光部的表面形状以及近场光和写入磁场的位置关系的检查方法是未解决的重要课题。 

另一方面，在日本专利特开2009－230845号公报（专利文献4）中公开了：根据使用了具有磁性探针的悬臂的扫描探头显微镜（ScanProbe Microscope：SPM）检查技术，在遮板状态下，检查薄膜磁头元件的写入磁场的方法。 

在专利文献4所公开的方法中，只能计测磁头元件的写入磁场的轨道宽度。但是，没有顾虑到下一代硬盘用的磁头元件、即热辅助磁头元件发生的近场光或者近场光发光部的表面形状的检查、以及检查近场光发光部和写入磁场发生部的位置关系等的情况。 

此外，专利文献4中记载了，磁头元件的性能检查是在从晶圆切出了遮板的状态下进行检查的情况，但需求是通过对于热辅助磁头元 件也相同地在遮板这样的头制造的较早阶段内进行检查，从而能够在热辅助磁头元件发生不良时能在制造工序的上游实施对策，对不良品的大量发生防患于未然。 

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点开发的，提供在制造工序过程中的尽早阶段或者作为磁头浮动块组装的状态下能够进行热辅助磁头元件发生的近场光或者近场光发光部的表面形状以及近场光发光部和写入磁场发生部的位置关系等的检查的、能够测定近场光和磁场这两者的扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法以及热辅助磁头元件的检查方法及其装置。 

为了解决上述课题，本发明中，将计测试样表面的磁场的扫描探头显微镜的悬臂，构成为：具有由板状的部件材料形成的杆、和形成于该杆的前端部分的探针，在该探针的表面形成磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜。 

此外，为了解决上述课题，本发明中，计测试样表面的磁场的扫描探头显微镜的悬臂的结构为具有：由板状的部件材料形成的杆、和形成于该杆的前端部分的探针，在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有变换入射的光的波长变换而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。 

此外，为了解决上述课题，本发明中，计测试样表面的磁场的扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，在将探针形成于板状的部件材料的前端部的杆的所述探针的表面，形成薄膜状的磁性体膜，在形成于该探针的表面的磁性体膜的表面形成贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜。 

此外，为了解决上述课题，本发明中，在计测试样的表面的磁场的扫描探头显微镜的悬臂的制造方法中，在将探针形成于板状的部件材料的前端部的杆的所述探针的表面形成薄膜状的磁性体膜，在形成于该探针的表面的磁性体膜的表面还形成变换入射的光的波长而使之 出射的材料的微粒子或者薄膜。 

此外，为了解决上述课题，本发明中，将检查热辅助磁头元件的检查装置构成为：具备以下部分：载置作为试样的热辅助磁头元件并在平面内能够移动的工作台单元；具备扫描载置于该工作台单元的试样的表面的探针，在该探针的表面形成有磁性膜的悬臂；使该悬臂对于所述试样的表面在上下方向上振动的振动驱动单元；通过向由该振动驱动单元振动的所述悬臂的形成所述探针的一侧的相反侧的面照射光而检测来自所述悬臂的反射光，从而检测所述悬臂的振动的变位检测单元；输出用于使交变磁场从所述热辅助磁头元件的磁场发生部发生并且使近场光从近场光发光部发生的信号的信号输出单元；检测由于根据从该信号输出单元输出的信号从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部发生的近场光而从所述悬臂的形成磁性膜的探针的表面发生的散射光的散射光检测单元；以及处理由所述变位检测单元检测得到的信号和由所述散射光检测单元检测所述散射光得到的信号，检查从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部发光的近场光的强度分布、所述近场光发光部的表面形状、磁场发生部与近场光发光部的位置关系中的至少一个的处理单元。