[发明专利]扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法、以及热辅助磁头元件的检查方法及其装置

权利要求书

1.一种扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，具有：

由板状的部件材料形成的杆、和

形成于该杆的前端部分的探针，

在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，计测试样表面的磁场和近场光。

2.根据权利要求1所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，在所述贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜之上，形成变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。

3.根据权利要求1或者2所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，所述贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜是金、银、铂或者含有这些的合金的微粒子或者薄膜。

4.一种扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，具有：

由板状的部件材料形成的杆、和

形成于该杆的前端部分的探针，

在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有变换入射的光的波长变换而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，计测试样表面的磁场和近场光。

5.根据权利要求1或者4所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，在所述杆中，由不同的材料形成所述板状的部件材料和所述探针。

6.根据权利要求5所述的扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，所述探针由碳纳米管或者碳纳米纤维、氧化硅、高密度碳（HDC：DLC）、钨（W）形成。

7.一种扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，其特征在于，

在将探针形成于板状的部件材料的前端部的杆的所述探针的表面，形成薄膜状的磁性体膜，

在形成于该探针的表面的磁性体膜的表面形成贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，其中

所述扫描探头显微镜通过所述悬臂计测试样表面的磁场。

8.根据权利要求7所述的扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，其特征在于，

在形成于所述磁性体膜的表面的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜之上，还形成变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜。

9.一种扫描探头显微镜的悬臂的制造方法，其特征在于，

在将探针形成于板状的部件材料的前端部的杆的所述探针的表面形成薄膜状的磁性体膜，

在形成于该探针的表面的磁性体膜的表面还形成变换入射的光的波长而使之出射的材料的微粒子或者薄膜，其中

所述扫描探头显微镜通过所述悬臂计测试样表面的磁场。

10.一种检查热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，具备以下部分：

载置作为试样的热辅助磁头元件并在平面内能够移动的工作台单元；

具备扫描载置于该工作台单元的试样的表面的探针，在该探针的表面形成有磁性膜的悬臂；

使该悬臂对于所述试样的表面在上下方向上振动的振动驱动单元；

通过向由该振动驱动单元振动的所述悬臂的形成所述探针的一侧的相反侧的面照射光而检测来自所述悬臂的反射光，从而检测所述悬臂的振动的变位检测单元；

输出用于使交变磁场从所述热辅助磁头元件的磁场发生部发生并且使近场光从近场光发光部发生的信号的信号输出单元；

检测由于根据从该信号输出单元输出的信号从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部发生的近场光而从所述悬臂的形成磁性膜的探针的表面发生的散射光的散射光检测单元；以及

处理由所述变位检测单元检测得到的信号和由所述散射光检测单元检测所述散射光得到的信号，检查从所述热辅助磁头元件的所述近场光发光部发光的近场光的强度分布、所述近场光发光部的表面形状、磁场发生部与近场光发光部的位置关系中的至少一个的处理单元。

11.根据权利要求10所述的热辅助磁头元件的检查装置，其特征在于，所述悬臂的探针，在所述磁性膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，通过使所述探针接近使所述近场光发生的试样的表面，利用所述近场光使散射光从所述贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜发生。