[发明专利]致动器和光扫描装置

说明书

技术领域

本发明涉及致动器和光扫描装置，该致动器具有形成在驱动梁上的下部电极、设置在下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极。

背景技术

已知地，在现有技术中，光扫描装置采用在压电材料上表面形成上部电极、在下表面形成下部电极的致动器，使反射入射光的镜部绕着旋转轴旋转，并扫描反射光。在该致动器中，为了将电压施加到压电材料上，而形成与上部电极连接的上部配线，和与下部电极连接的下部配线(例如，专利文献1)。

图1是说明现有的致动器中的上部配线的图。在图1中示出的致动器10具有在下部电极11和上部电极12之间形成压电材料的层叠结构。下部电极11连接到未图示的公共下部配线。上部配线13连接到上部电极12。在致动器10中，通过将电压施加到公共下部配线和上部配线13上来驱动压电材料。

此外，在图1中示出的现有致动器10中，当层叠下部电极11和上部电极12时，下部电极11的端部11T构成为从上部电极12下面露出。因此，在致动器10中，为了使下部电极11不与上部配线13接触，而在下部电极11上形成绝缘部14，以覆盖位于形成上部配线13的位置上的端部11T。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2010-259213号公报

在上述现有技术中，在绝缘部14的宽度t1与上部配线的宽度t2的差t3不足的情况下，当将大电压施加到上部电极和下部电极上而产生电位差时，担心发生破坏绝缘部14的绝缘破坏。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够防止绝缘破坏的致动器。

为了实现上述目的，本发明采用如下所述的结构。

本发明是一种致动器151、171，由驱动梁150、170、形成在所述驱动梁150、170上的下部电极172、设置在所述下部电极172上的压电元件173、和设置在所述压电元件173上的上部电极174层叠构成，该致动器具有：

上部配线175，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁150、170上的所述上部电极174的配线和所述上部电极174，和

绝缘部177，其形成在所述上部配线175下以覆盖所述下部电极172的端部172T，将所述上部电极174与所述下部电极172绝缘；

所述绝缘部177具有向所述上部配线175的宽度方向的所述上部配线175两侧扩张的绝缘扩张部177A、177B。

本发明是一种光扫描装置100，具有由驱动梁150、170、形成在所述驱动梁150、170上的下部电极172、设置在所述下部电极172上的压电元件173、设置在所述压电元件173上的上部电极174层叠构成的致动器151、171，和利用所述致动器151、171摇动而使入射光反射以扫描反射光的镜部110，

所述致动器151、171具有：

上部配线175，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁150、170上的所述上部电极174的配线和所述上部电极174，和

绝缘部177，其形成在所述上部配线175下以覆盖所述下部电极172的端部172T，将所述上部电极174与所述下部电极172绝缘；

所述绝缘部177具有向所述上部配线175的宽度方向的所述上部配线175两侧扩张的绝缘扩张部177A、177B。

并且，参考标记是为了便于理解，它们只不过是一个例子，不是限定为图示的方式。

本发明的效果如下。

根据本发明，能够防止绝缘破坏。

附图说明

图1是说明现有的致动器中的上部配线的图。

图2是说明本发明的光扫描装置的第一图。

图3是说明本发明的光扫描装置的第二图。

图4是图2的部分A的放大图。

图5是图4的B-B截面图。

图6是示出绝缘膜的膜结构的第一图。

图7是示出本实施方式的绝缘膜的漏电流特性的图。

图8是示出绝缘膜的膜结构的第二图。

图中：100-光扫描装置，110-镜，120-镜支持部，130-扭转梁，140-连接梁，150-第一驱动梁，151、171-驱动源，160-可动框，170-第二驱动梁，172-下部电极，173-压电元件，174-上部电极，175-上部配线，177-绝缘部，180-固定框。

具体实施方式

在下文中，将参考附图说明本发明的实施方式。图2是说明本发明的光扫描装置的第一图，图3是说明本发明的光扫描装置的第二图。