[发明专利]致动器和光扫描装置

权利要求书

1.一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器的特征在于，具有：

上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及

绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，

所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

所述绝缘扩张部的宽度是所述上部配线宽度的至少三倍。

3.根据权利要求1或2所述的致动器，其特征在于，

所述绝缘部是包含无机绝缘膜和有机绝缘膜的膜结构的绝缘膜。

4.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，

所述绝缘部是由所述无机绝缘膜夹着所述有机绝缘膜的膜结构。

5.一种光扫描装置，具有：制动器，其由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成；以及镜部，其利用所述致动器摇动而使入射光反射以扫描反射光，该光扫描装置的特征在于，

所述致动器具有：

上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及

绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘；

所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。