[发明专利]光刻胶用剥离液组合物及其制备和应用

权利要求书

1.一种光刻胶用剥离液组合物，其特征在于，所述组合物的主要组分及其质量份数如下：

a组分0.3-5份，b组分2-15份，c组分0.05-5份，d组分2-15份；

所述a组分为含氟的羧酸或其盐，

所述b组分为烷醇胺类或季胺氢氧化物中的至少一种碱性化合物，

所述c组分为含硫防腐蚀剂，

所述d组分为极性有机溶剂。

2.根据权利要求1所述光刻胶用剥离液组合物，其特征在于，所述组合物主要组分的质量份数如下：

a组分1.0-1.5份，b组分7-10份，c组分0.3-0.6份，d组分4-10份。

3.根据权利要求1所述光刻胶用剥离液组合物，其特征在于：

所述a组分为碳原子数2-4的烷基或芳香含氟羧酸或其盐，

所述b组分为单乙醇胺、二乙醇胺、丙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-丁基乙醇胺、单异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、氢氧化四丙基铵、氢氧化四丁基铵、氢氧化单甲基三丙基铵和氢氧化（2-羟基乙基）三甲基铵中的至少一种，

所述c组分为二硫代双甘油、二（2,3-二羟基丙硫基）乙烯、1-硫代甘油、2-巯基乙醇和3-巯基-1-丙醇中的至少一种，

所述d组分为二甲亚砜、N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基咪唑、γ-丁内酯和环丁砜中的至少一种。

4.根据权利要求3所述光刻胶用剥离液组合物，其特征在于：

所述a组分为三氟乙酸、三氟丙酸、三氟丁酸或对三氟甲基苯甲酸中的至少一种，

所述b组分为单乙醇胺、二乙醇胺、单异丙醇胺、氢氧化四甲基铵或氢氧化四乙基铵中的至少一种，

所述c组分为二硫代双甘油或1-硫代甘油中的至少一种，

所述d组分为二甲亚砜、N-甲基-2-吡咯烷酮或N,N-二甲基甲酰胺中的至少一种。

5.根据权利要求4所述光刻胶用剥离液组合物，其特征在于：

所述a组分为三氟乙酸或对三氟甲基苯甲酸中的至少一种。

6.根据权利要求1-5任意一项所述光刻胶用剥离液组合物，其特征在于：

所述组合物还含有水。

7.根据权利要求6所述光刻胶用剥离液组合物，其特征在于：所述组合物还含有73-85质量份的水。

8.制备权利要求1-7任意一项所述光刻胶用剥离液组合物的方法，其特征在于，包括如下步骤：

按所述质量份数称取各组分，混合。

9.权利要求1-7任意一项所述光刻胶用剥离液组合物在光刻胶剥离中的应用。