[发明专利]一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，涉及一种真空镀膜领域的真空辅助部件，具体涉及一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置。

背景技术

当前，随着科学技术的发展，真空沉积的多层膜器件层出不穷，器件的生产过程中多层膜要求不脱离真空环境或保护气体的环境进行清洗、光刻、检测和封装等多种操作；手套箱可以使器件不脱离真空环境或保护气体的环境进行清洗、光刻、检测和封装等多种操作；这样就需要使多层膜器件在真空室与手套箱之间传递，手套箱与真空室之间的过渡室保证了器件在转移过程中不脱离真空环境。

现有的过渡室大多采用直杆机械手方式或采用齿轮带动齿条再带动载器件的小车的方式，把器件从一个室取出再送人另一个室，这些方式不可避免的使过渡室体积较大，占地面积大；工作时，由于过渡室体积大，导致真空抽气的时间较长，并且需要充入较大量的保护气体，造成资源的浪费。

发明内容

本发明的目的在于提出了一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置，解决现有技术中过渡室体积庞大而导致的抽气时间较长的问题，并且避免资源的浪费。

为实现上述目的，本发明的传递装置包括转移机构及托板；所述托板的右端部固定在所述转移机构左端部的连接轴上，所述转移机构可带动托板移动，所述转移机构与所述托板整体位于过渡室中，所述转移机构右端与过渡室壁的右侧连接，过渡室右端与手套箱连接、左端通过插板阀与真空室接口连接。

所述转移机构为X杆机构，所述手套箱箱口处装有真空夹阀。

所述真空室接口内装有前滑道，过渡室内装有后滑道，所述前滑道及所述后滑道在同一条直线上，所述托板可在所述前滑道及所述后滑道上滑动。

所述过渡室的前后两面壁上同轴安有前收放轴座和后收放轴座，在这两个轴座中安装有可旋转的收放轴；所述收放轴上套有正螺纹滑块和反螺纹滑块，所述正螺纹滑块与所述反螺纹滑块与收放轴中部的正反螺纹配合，所述正螺纹滑块与所述反螺纹滑块通过支板轴分别与所述X杆机构右端部的两个交叉的支板连接。

所述过渡室壁上装有排气口和充气口。

所述真空夹阀包括动紧板、定紧板以及偏心扳手；所述动紧板和所述定紧板的外径同手套箱箱口的内径间隙配合；所述动紧板中心的轴穿过定紧板，并且与偏心扳手通过拉紧轴相连，旋动所述偏心扳手可以使动紧板和定紧板贴紧和松开；所述动紧板和所述定紧板对应边缘各有一个斜面夹有密封圈，当动紧板和定紧板贴紧时，密封圈挤出并与手套箱箱口的壁贴紧实现真空密封。

所述传递装置安装过程中整体保证真空密封。

本发明的有益效果：本发明的传递装置通过X杆机构的伸缩实现器件在真空室与手套箱之间的传递，减小了过渡室的体积，缩短了工作时真空抽气时间，减少了保护气体的冲入量，避免了资源的浪费。

附图说明

图1为本发明的传递装置收回状态时的剖视图；

图2为本发明的床底装置送出状态时的剖视图；

其中：1、真空室壁，2、真空室接口，3、前滑道，4、插板阀，5、托板，6、排气口，7、后滑道，8、充气口，9、连接轴，10、支板轴，11、前收放轴座，12、正螺纹滑块，13、手套箱，14、收放轴，15、偏心扳手，16、拉紧轴，17、动紧板，18、定紧板，19、弹簧，20、密封圈，21、旋钮，22、后收放轴座，23、反螺纹滑块，24、支板。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。

实施例一：

参见附图1、2，本发明的传递装置中插板阀4的一面与真空室接口2连接，另一面和过渡室的一个口相连接。过渡室的另一个口与手套箱13相连接。所述过渡室的内径100mm，长200mm。在真空室接口2内装有前滑道3，在过渡室内装有后滑道7，它们共同保证了托板5在其中顺利地直线滑动。在过渡室壁上装有排气口6和充气口8，用以抽出过渡室的气体和充入保护气体，它们都装有阀门。同时，在过渡室的前后两面壁上同轴安有前收放轴座11和后收放轴座22，在这两个轴座中装有可旋转的收放轴14，它们要保证真空密封。收放轴14的直径为8mm。收放轴14的中部有对应的正反螺纹，在正反螺纹部分分别装有可滑动的正螺纹滑块12和反螺纹滑块23。