[发明专利]一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置

权利要求书

1.一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置，其特征在于，包括转移机构及托板（5）；所述托板（5）的右端部固定在所述转移机构左端部的连接轴（9）上，所述转移机构可带动托板（5）移动，所述转移机构与所述托板（5）整体位于过渡室中，所述转移机构右端与过渡室壁的右侧连接，过渡室右端与手套箱（13）连接、左端通过插板阀（4）与真空室接口（2）连接。

2.根据权利要求1所述的传递装置，其特征在于，所述转移机构为X杆机构，所述手套箱（13）箱口处装有真空夹阀。

3.根据权利要求1所述的传递装置，其特征在于，所述真空室接口（2）内装有前滑道（3），过渡室内装有后滑道（7），所述前滑道（3）及所述后滑道（7）在同一条直线上，所述托板（5）可在所述前滑道（3）及所述后滑道（7）上滑动。

4.根据权利要求2所述的传递装置，其特征在于，所述过渡室的前后两面壁上同轴安有前收放轴座（11）和后收放轴座（22），在这两个轴座中安装有可旋转的收放轴（14）；所述收放轴（14）上套有正螺纹滑块（12）和反螺纹滑块（23），所述正螺纹滑块（12）与所述反螺纹滑块（23）与收放轴（14）中部的正反螺纹配合，所述正螺纹滑块（12）与所述反螺纹滑块（23）通过支板轴（10）分别与所述X杆机构右端部的两个交叉的支板（24）连接。

5.根据权利要求1所述的传递装置，其特征在于，所述过渡室壁上装有排气口（6）和充气口（8）。

6.根据权利要求2所述的传递装置，其特征在于，所述真空夹阀包括动紧板（17）、定紧板（18）以及偏心扳手（15）；所述动紧板（17）和所述定紧板（18）的外径同手套箱（13）箱口的内径间隙配合；所述动紧板（17）中心的轴穿过定紧板（18），并且与偏心扳手（15）通过拉紧轴（16）相连，旋动所述偏心扳手（15）可以使动紧板（17）和定紧板（18）贴紧和松开；所述动紧板（17）和所述定紧板（18）对应边缘各有一个斜面夹有密封圈（20），当动紧板（17）和定紧板（18）贴紧时，密封圈（20）挤出并与手套箱（13）箱口的壁贴紧实现真空密封。