[发明专利]透明电极制作方法、掩膜板以及设备

权利要求书

1.一种透明电极制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

在玻璃基板上成膜并在薄膜上涂布光阻；

透过掩膜板对所述光阻进行曝光，其中，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成至少第一区域及第二区域两个区域，所述第一区域中透明电极所对应的图形的间距设置为第一间距，所述第二区域中透明电极所对应的图形的间距设置为第二间距，并且，第一间距大于相应的预定间距，第一间距与相应的预定间距之间的差大于第二间距与相应的预定间距之间的差；

对曝光后的所述玻璃基板进行显影、刻蚀以在所述玻璃基板上形成透明电极。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成所述第一区域、所述第二区域以及第三区域，所述第三区域设置于所述第一区域与所述第二区域之间，并且，所述第三区域中透明电极所对应的图形的间距为第一间距或第二间距，并且从外至内第一间距所占的比例逐渐减少而第二间距所占的比例逐渐增大。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域为长宽比一样的矩形区域。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成所述第一区域、所述第二区域以及第三区域，所述第三区域设置于所述第一区域与所述第二区域之间，并且，从外至内所述第三区域中透明电极所对应的图形的间距逐渐减小。

5.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成至少第一区域及第二区域两个区域，所述第一区域中透明电极所对应的图形的间距设置为第一间距，所述第二区域中透明电极所对应的图形的间距设置为第二间距，并且，第一间距大于相应的预定间距，第一间距与相应的预定间距之间的差大于第二间距与相应的预定间距之间的差。

6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成所述第一区域、所述第二区域以及第三区域，所述第三区域设置于所述第一区域与所述第二区域之间，并且，所述第三区域中透明电极所对应的图形的间距为第一间距或第二间距，并且从外至内第一间距所占的比例逐渐减少而第二间距所占的比例逐渐增大。

7.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成所述第一区域、所述第二区域以及第三区域，所述第三区域设置于所述第一区域与所述第二区域之间，并且，从外至内所述第三区域中透明电极所对应的图形的间距逐渐减小。

8.一种透明电极制作设备，其特征在于，包括：显影光源以及掩膜板，所述显影光源产生显影光线透过所述掩膜板，其中，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成至少第一区域及第二区域两个区域，所述第一区域中透明电极所对应的图形的间距设置为第一间距，所述第二区域中透明电极所对应的图形的间距设置为第二间距，并且，第一间距大于相应的预定间距，第一间距与相应的预定间距之间的差大于第二间距与相应的预定间距之间的差。

9.根据权利要求8所述的透明电极制作设备，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成所述第一区域、所述第二区域以及第三区域，所述第三区域设置于所述第一区域与所述第二区域之间，并且，所述第三区域中透明电极所对应的图形的间距为第一间距或第二间距，并且从外至内第一间距所占的比例逐渐减少而第二间距所占的比例逐渐增大。

10.根据权利要求8所述的透明电极制作设备，其特征在于，所述掩膜板在对应液晶面板的显示区域部分从外至内分成所述第一区域、所述第二区域以及第三区域，所述第三区域设置于所述第一区域与所述第二区域之间，并且，从外至内所述第三区域中透明电极所对应的图形的间距逐渐减小。