[发明专利]化学液混合装置及方法

权利要求书

1.一种化学液混合装置，其特征在于，包括：

化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。

2.如权利要求1所述的化学液混合装置，其特征在于，所述第二混合器为伸入所述化学液储罐内部输入管，所述输入管壁上设有开孔并且该输入管的末端封堵。

3.如权利要求1所述的化学液混合装置，其特征在于，所述第一混合器为在线混流器。

4.如权利要求1所述的化学液混合装置，其特征在于，所述输入管末端用堵塞封堵或焊接封堵。

5.如权利要求1所述的化学液混合装置，其特征在于，所述化学液混合装置还包括：位于化学液存储容器侧面用于感测化学液的液位传感器；以及用于将所述化学液存储容器中的化学液输送到相应工艺单元的配置泵。

6.如权利要求5所述的化学液混合装置，其特征在于，所述液位传感器的数量至少为一个。

7.如权利要求1所述的化学液混合装置，其特征在于，所述化学液混合装置还包括：存储补充液的补充液缓冲罐。

8.如权利要求7所述的化学液混合装置，其特征在于，所述补充液缓冲罐侧面设有液位传感器，所述补充液缓冲罐与控制补充液输出的输出泵连接。

9.一种化学液混合方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将化学返回液、化学回收液以及补充液汇合；

S2：将汇合后的液体经过第一混流器进行第一次混合；

S3：将所述第一次混合后的液体充入化学液储罐内部，通过输入管与化学液储罐内部的新液体进行第二次混合。

10.根据权利要求9所述化学液混合方法，其特征在于，所述补充液通过输出泵从补充液缓冲罐输出与化学返回液和化学回收液进行汇合。