[发明专利]基板处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及与基板处理装置之间搬运容纳半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED（Field Emission Display：场发射显示器）用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板（下面，简称为基板）的容纳器的基板处理系统。

背景技术

以往，作为这种基板处理系统可列举具有基板处理装置、自动物料搬运系统和对整体进行控制的主计算机的系统，其中，所述基板处理装置具有基板处理单元、容纳器容置/搬运单元、装载台（load port），所述自动物料搬运系统根据主计算机的指示搬运容纳器。

基板处理单元对基板进行各种处理。容纳器容置/搬运单元与基板处理单元并排设置，容置或者搬运用于容置基板的FOUP（Front Opening Unified Pod：前开式统一标准箱）。装载台与容纳器容置/搬运单元并排设置，用于载置FOUP。自动物料搬运系统（AMHS：Automated Material Handling System）具有无人搬运车（AGV：Automatic Guided Vehicles）或者为空中行走式无人搬运车（OHT：Overhead Hoist Transfer）等移动装置，用于进行与装载台之间的FOUP的交接。主计算机与控制装置之间和与自动物料搬运系统之间进行通信，进行与搬运FOUP相关的控制。

自动物料搬运系统向基板处理装置搬运FOUP需要时间。因此，在基板处理装置具有容纳器容置/搬运单元的情况下，希望在向装载台搬入FOUP之后，尽可能快地从装载台取出FOUP并搬入容纳器容置/搬运单元，并且为了下一次的搬运而空出装载台。为了满足这样的要求，提出了一种装置，其在装载台附近设置有作为容纳器暂时避让的场所的可移动缓冲部。例如，参照日本特表2008-508731号公报。

在该装置中，在FOUP载置于装载台时，通过可移动缓冲部使FOUP从装载台暂时沿着横向滑动移动并避让，以能够使装载台用于下一次搬运。

然而，在具有上述结构的现有例子的情况下，存在着下面的问题。

即，现有的装置具有使FOUP从装载台暂时避让的结构，但是，例如，在自动物料搬运系统的两个OHT连续向同一个装载台搬入FOUP的情况下，由于搬入间隔很短，所以在相对于一个OHT搬入的FOUP从装载台避让的动作，另一个OHT搬入FOUP的动作更快的情况下，存在不能向装载台搬入FOUP，导致通过OHT搬入FOUP的动作失败的问题。若发生这样的搬入失败，则装载台会立即向自动物料搬运系统发出上述另一个OHT处于“不能搬入”的状态的通知。于是，OHT通过该装载台并沿着自动物料搬运系统的循环轨道环绕，此后再次尝试搬入动作。另外，针对搬出动作也会产生同样的问题。因此，由于OHT再次环绕循环轨道需要时间，所以存在不能有效地利用自动物料搬运系统的资源的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种能够有效地利用自动物料搬运系统的基板处理系统。

本发明，为了达到上述的目的，具有如下的结构。

本发明提供一种基板处理系统，用于处理基板，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；所述基板处理装置具有：基板处理单元，其对基板进行规定的处理，装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器；所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；所述基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在所述装载台因一个容纳器而处于被使用中的情况下，当应该与该装载台之间交接其它的容纳器的自动物料搬运系统的移动装置到来时，所述自动物料搬运系统对应控制部不通知不能够接受容纳器，直到所述一个容纳器的使用结束。