[发明专利]基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，用于处理基板，其特征在于，

具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；

其中，所述基板处理装置具有：

基板处理单元，其对基板进行规定的处理，

装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，

内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器；

所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；

所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；

所述基板处理装置具有自动物料搬运系统对应控制部，在所述装载台因一个容纳器而处于被使用中的情况下，当应该与该装载台之间交接其它的容纳器的自动物料搬运系统的移动装置到来时，所述自动物料搬运系统对应控制部不通知不能够接受容纳器，直到所述一个容纳器的使用结束。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，

在进行搬入动作时，在所述装载台内载置有其它的容纳器的情况下，所述自动物料搬运系统在其位置待机到从所述自动物料搬运系统对应控制部获得搬入许可。

3.如权利要求1或2所述的基板处理系统，其特征在于，

所述基板处理装置还具有主计算机对应控制部，当所述主计算机指示搬出所述内部缓冲部的容纳器时，在开始从所述内部缓冲部向所述装载台搬出所述容纳器之后直至将所述容纳器载置于所述装载台为止的期间内，所述主计算机对应控制部向所述主计算机报告：能够搬出所述容纳器。

4.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，

当所述移动装置为了搬出容纳器而移动时，在没有容纳器载置于所述装载台的情况下，所述自动物料搬运系统在其位置待机到将所述容纳器载置于所述装载台。

5.一种基板处理系统，用于处理基板，其特征在于，

具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；

其中，所述基板处理装置具有：

基板处理单元，其对基板进行规定的处理，

装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，并且在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，

内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，并且在该内部缓冲部与所述基板处理单元之间交接基板，在该内部缓冲部与所述装载台之间交接容纳器，且在交接时暂时容置容纳器，

所述自动物料搬运系统与所述装载台之间交接容纳器；

所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；

所述基板处理装置具有主计算机对应控制部，当所述主计算机指示搬出所述内部缓冲部的容纳器时，在开始从所述内部缓冲部向所述装载台搬出所述容纳器之后直至将所述容纳器载置于所述装载台为止的期间内，所述主计算机对应控制部向所述主计算机报告：能够搬出所述容纳器。

6.如权利要求1或2所述的基板处理系统，其特征在于，

还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

7.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，

还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

8.如权利要求4所述的基板处理系统，其特征在于，

还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。

9.如权利要求5所述的基板处理系统，其特征在于，

还具有虚拟装载台控制装置，其对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统对该虚拟装载台进行搬运动作。