[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其中，

该基板处理装置包括：

承载区，该承载区包含用于对能够收纳多个基板的承载件进行载置的第1承载件载置部和第2承载件载置部，从上述承载区的近前侧看来，左右互相分开地设有第1承载件载置部及第2承载件载置部；

处理区，其设在上述承载区的背面侧，具有将多个层部分上下配置而成的层构造，并且各层部分具有用于输送基板的基板输送机构和用于处理基板的处理组件；

塔单元，从上述处理区侧朝向承载区看来该塔单元设在第1承载件载置部和第2承载件载置部之间的位置，该塔单元包含多个基板载置部，该多个基板载置部配置在可利用多个基板载置部各自所对应的层部分的基板输送机构交接基板的高度位置；

第1基板移载机构，其用于在上述第1承载件载置部上的承载件与上述塔单元的各基板载置部之间移载基板，具有用于保持基板的、进退、升降自由的基板保持构件；

第2基板移载机构，其用于在上述第2承载件载置部上的承载件与上述塔单元的各基板载置部之间移载基板，具有用于保持基板的、进退、升降自由的基板保持构件。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

在上述第1基板移载机构及第2基板移载机构中的一个基板移载机构发生了故障时，另一个基板移载机构在与该另一个基板移载机构相对应的、承载件载置部上的承载件与塔单元的基板载置部之间移载基板。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

对上述第1基板移载机构及第2基板移载机构进行控制，使得在上述第1基板移载机构及第2基板移载机构中的一个基板移载机构进行用于从承载件取出处理前的基板而将基板移载到塔单元的基板载置部的作业时，另一个基板移载机构进行自塔单元的基板载置部接收处理后的基板而移载到承载件的作业。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

上述承载区还具有其他承载件载置部，该其他承载件载置部以与上述第1承载件载置部及第2承载件载置部中的至少一个承载件载置部上下排列的方式配置。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，

与上述第1承载件载置部及第2承载件载置部中的上述至少一个承载件载置部相对应的基板移载机构为了在上侧的承载件载置部及下侧的承载件载置部之间分别交接基板而具有上侧基板移载机构和下侧基板移载机构。

6.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，

在下侧的承载件载置部的侧方设有承载件临时放置部，该承载件临时放置部用于在该下侧的承载件载置部与位于承载区的上方侧的承载件输送机构之间输入或输出承载件时临时放置承载件；

该基板处理装置设有用于使承载件在该下侧的承载件载置部与上述承载件临时放置部之间移动的承载件移动机构。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

针对第1基板移载机构及第2基板移载机构中的任一个基板移载机构中都上下排列地配置有多个承载件载置部。

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

第1基板移载机构及第2基板移载机构包含于互相独立的基板移载机构模块；

上述基板移载机构模块能够分别独立地向左右拉出。

9.一种基板处理装置，其中，

该基板处理装置包括：

承载区，其沿上下方向具有多个用于对能够收纳多个基板的承载件的进行载置的承载件载置部；

处理区，其设在上述承载区的背面侧，具有将用于按顺序处理基板的多个层部分上下配置而成的构造，并且各层部分具有用于输送基板的基板输送机构和用于处理基板的处理组件；

塔单元，其包含多个基板载置部，该多个基板载置部配置在可利用该多个基板载置部各自所对应的层部分的上述基板输送机构交接基板的高度位置；

基板移载机构，其用于在各个上述承载件载置部上的承载件与上述塔单元的基板载置部之间、以及上述塔单元所包含的两个基板载置部之间移载基板，

上述基板移载机构包括在承载件与基板载置部之间移载基板时专用的第1基板保持构件和在塔单元的基板载置部之间移载基板时专用的第2基板保持构件。