[发明专利]一种阵列基板检测设备

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板检测设备。

背景技术

近年来，平板显示技术发展迅速，产品的不良也多种多样。为了既满足客户的需求，又达到低成本的目的，提高产品的良品率是每个厂家一直追求的目标。

相应地，在制作产品的过程中，有多种阵列基板检测设备，用于在制作完每一道工序之后检测产品是否存在导致不良的因素，以便后续及时处理导致不良的因素。在制作薄膜晶体管（Thin Film Transistor，TFT）液晶显示器件的阵列基板的过程中，涉及到对阵列基板上的电路（简称阵列电路）的检测。阵列电路光学检测设备（Pattern Inspection，PI）专门用于检测阵列基板上的阵列电路的颗粒。该颗粒可能来自空气中的尘埃或者来自镀膜过程中的污渍，但是当该颗粒足够大时，可以损坏后续阵列电路电学检测设备。因此，PI将阵列电路中存在的颗粒及时检测出来，将高度较高的颗粒加以标记，并在电学检测设备检测电路之前，及时处理掉这些较大的颗粒。这些颗粒一旦没有被及时处理，不但损坏检测设备还会造成产品的不良。即所述颗粒可以导致产品不良。

PI设备是一种光学阵列基板检测设备，具体地，通过PI设备中的图像采集装置，如相机，获取阵列基板上的颗粒的灰度图像，通过对颗粒图像的观测和分析对可能会导致产品不良的颗粒进行处理。对阵列电路的检测还包括一种电学检测设备（Array Tester，AT），用于在阵列基板上的阵列电路上电的情况下，检测阵列电路是否存在导致不良的因素。这种检测设备主要检测电路部件被划伤等问题。当阵列基板上存在导致不良的颗粒，并且该颗粒的高度较高时，会将AT检测设备上的相关薄膜损坏，导致AT检测设备的破损。由于AT检测设备非常昂贵。因此，对电路进行AT检测之前需要将阵列电路上的高度较高的颗粒处理掉，避免后续工艺中损坏AT检测设备。

如图1所示，现有的PI设备中的图像采集设备30的镜头的出射光线40的方向为垂直方向，即出射光线与阵列基板10的夹角为90度。检测出来的颗粒图像无法显示阵列基板10上的颗粒20的高度。因此，目前还没有专门的检测阵列基板10上的颗粒20的高度的阵列基板检测设备。

发明内容

本发明实施例提供一种阵列基板检测设备，用以通过从不同角度照射被测物从同一角度采集被测物的图像，或者从不同角度采集被测物同一部位的图像，通过所述采集到的图像检测被测物的高度。

本发明实施例提供的一种阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体、设置于所述检测设备本体上的图像采集装置、高度计算装置以及报警装置，所述图像采集装置采集被测物在不同于垂直方向上的至少两个角度上的图像的数据信息，并传送给所述高度计算装置；所述高度计算装置用于根据所述图像采集装置采集的所述图像的数据信息，计算出所述被测物的高度；所述报警装置与所述高度计算装置进行通讯，用于在被测物的高度超过预设值时实施报警。

本发明提供的阵列基板检测设备，通过从不同角度照射或者以图像采集装置从不同角度采集被测物同一部位的图像的数据信息（该数据信息可以是被测物的图像，也可以是被测物的影子图像），由高度计算装置利用所述图像采集装置采集到的图像计算出所述被测物的高度。优选地，所述不同的角度是不同于垂直方向的至少两个角度。通过所述检测设备检测阵列基板上的被测物（如颗粒或污渍）的高度，可以避免较高的被测物对后续电学检测设备造成一定的影响或损坏电学检测设备。

附图说明

图1为现有阵列检测设备检测被测物是否存在的简单系统示意图；

图2为本发明实施例一提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图3为本发明实施例二提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图4为本发明实施例三提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图5为本发明实施例四提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图6为本发明实施例五提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图7为本发明实施例六提供的阵列基板检测设备结构示意图。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种阵列基板检测设备，用以通过从不同角度照射被测物从同一角度采集被测物的图像，或者从不同角度采集被测物同一部位的图像，检测被测物的高度。

本发明实施例提供的阵列基板检测设备，通过从不同角度照射被测物从同一角度采集被测物的图像的数据信息，或者从不同角度采集被测物同一部位的图像的数据信息，将采集到的图像的数据信息发送至高度计算装置，高度计算装置根据接收到的数据信息计算出被测物的高度。