[发明专利]一种阵列基板检测设备有效
申请号: | 201210328378.5 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN102854200A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 赵海生;林子锦;裴晓光;田超;张铁林;林金升;韩金永 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 检测 设备 | ||
1.一种阵列基板检测设备,其特征在于,包括:
检测设备本体、设置于所述检测设备本体上的图像采集装置、高度计算装置以及报警装置,所述图像采集装置采集被测物在不同于垂直方向上的至少两个角度上的图像的数据信息,并将所述数据信息传送给所述高度计算装置;所述高度计算装置根据接收到的数据信息,计算出所述被测物的高度;所述报警装置与所述高度计算装置进行通讯,用于在被测物的高度超过预设值时实施报警。
2.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备,其特征在于,所述图像采集装置包括第一图像采集装置和第二图像采集装置,所述第一图像采集装置从第一角度采集所述被测物的图像的数据信息,所述第二图像采集装置从第二角度采集所述被测物的图像的数据信息,所述第一图像采集装置和第二图像采集装置分别将采集到的数据信息传送给所述高度计算装置。
3.根据权利要求2所述的阵列基板检测设备,其特征在于,所述图像采集装置还至少包括第三图像采集装置,所述第三图像采集装置从不同于所述第一角度和所述第二角度的第三角度采集所述被测物的图像的数据信息,并将采集到的数据信息传送给所述高度计算装置,所述高度计算装置根据第三图像采集装置采集的数据信息、第一图像采集装置采集的数据信息及所述第二图像采集装置采集的数据信息,计算出所述被测物的多个估计高度,并在所述多个估计高度中选取最大的估计高度作为被测物的高度。
4.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备,其特征在于,所述阵列基板检测设备还包括图像采集装置移动机构,用于使所述图像采集装置沿水平方向由第一位置移动到第二位置,图像采集装置在第一位置沿第一角度采集所述被测物的图像的数据信息,以及在第二位置沿第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。
5.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备,其特征在于,还包括被测物移动机构,用于使所述被测物沿水平方向移动,所述图像采集装置先后沿第一角度和第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。
6.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备,其特征在于,所述阵列基板检测设备设有一个照明装置,所述照明装置先后沿第一角度和第二角度照射所述被测物,图像采集装置分别在照明装置沿第一角度和第二角度照射所述被测物时,采集被测物的图像的数据信息。
7.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备,其特征在于,所述阵列基板检测设备设有至少两个照明装置,第一照明装置和第二照明装置,所述第一照明装置沿第一角度照射所述被测物,第二照明装置沿第二角度照射所述被测物,图像采集装置分别在第一照明装置沿第一角度和第二角度照射所述被测物时采集被测物的图像的数据信息。
8.根据权利要求2、4~7之任一项所述的阵列基板检测设备,其特征在于,所述高度计算装置中包括计算模块,用于根据公式h=ΔL/(1/tanα-1/tanβ)来计算所述被测物的高度h,其中,α为所述第一角度与水平面的夹角,β为所述第二角度与水平面的夹角,ΔL为所述被测物分别沿所述第一角度和所述第二角度而在水平面上的投影的长度之差。
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