[发明专利]以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置及方法无效
| 申请号： | 201210319207.6 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102983061A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 陈文隆;颜锡鸿;陈毓正;马俊麒;余智林 | 申请（专利权）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;吕俊清 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扰动 边缘 湿制程 蚀刻 装置 方法 | ||
1.一种以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置，包括湿制程蚀刻槽，所述湿制程蚀刻槽内设有蚀刻液及载具，所述载具设有多个凹槽，所述凹槽置放有工件，其特征在于，还包括两搅棒组，所述两搅棒组分别设置于所述载具的两侧，每一所述搅棒组各具有至少一搅棒，所述搅棒由驱动机构所带动，用于扰动所述蚀刻液。
2.如权利要求1所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置，其特征在于，每一所述搅棒组的所述搅棒设置为一支或多支。
3.如权利要求1所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置，其特征在于，每一所述搅棒组的所述搅棒形成有窄部及宽部。
4.如权利要求1所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置，其特征在于，每一所述搅棒组的所述驱动机构由马达连接连杆组成。
5.如权利要求1所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻装置，其特征在于，每一所述搅棒组的所述驱动机构由气压缸连接连杆组成。
6.一种以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻方法，其特征在于，包括步骤如下：
将工件置于载具的凹槽内；
将置有所述工件的所述载具放置于内设有蚀刻液的湿制程蚀刻槽内；以及
将设置于所述载具两侧的两搅棒组的搅棒以驱动机构带动，用于扰动所述蚀刻液。
7.如权利要求6所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻方法，其特征在于，所述两搅棒组的所述搅棒同向或反向地移动。
8.如权利要求6所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻方法，其特征在于，每一所述搅棒组的所述搅棒的搅拌频率为每分钟5至20次。
9.如权利要求6所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻方法，其特征在于，每一所述搅棒组的所述搅棒设置为一支或多支。
10.如权利要求6所述的以搅棒扰动载具边缘的湿制程蚀刻方法，其特征在于，每一所述搅棒组的所述搅棒形成有窄部及宽部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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