[发明专利]制备筒状石墨加热器用固定棒及加热器的制造方法有效
申请号: | 201210308788.3 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN102794828A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 何军舫;王军勇 | 申请(专利权)人: | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D1/22 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 101101 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 石墨 加热 器用 固定 加热器 制造 方法 | ||
1.制备筒状石墨加热器用固定棒,包括具有两端面和侧面的柱状本体,其特征在于,在柱状本体的侧面上具有凹槽。
2.根据权利要求1所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述凹槽为周向的环形凹槽。
3.根据权利要求2所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述凹槽为多个,且在轴向上均匀分布。
4.根据权利要求1所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述凹槽呈螺旋形。
5.根据权利要求1所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述凹槽的宽度为1-5cm。
6.根据权利要求1所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述凹槽的深度为1-2mm。
7.根据权利要求1所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述凹槽占柱状本体的侧面表面积的三分之一到四分之三。
8.根据权利要求1所述的制备筒状石墨加热器用固定棒,其特征在于,所述柱状本体具有轴向盲孔和与轴向盲孔连通的径向通孔,所述径向通孔位于凹槽内。
9.筒状石墨加热器的制造方法,其特征在于,将筒状石墨原料通过热熔胶固定于权利要求1-8任一所述的固定棒上,将所述固定棒固定于机床上,对筒状石墨原料进行切割成型,通过加热的方式使切割成型的石墨加热器与固定棒脱离。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司,未经北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210308788.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。