[发明专利]用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置

权利要求书

1.用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置，其特征在于：包括内部中空的冷却管（3），所述冷却管（3）弯曲为若干圈尺寸相同的盘管结构，冷却管（3）的两端设置有固定管（4），固定管（4）的内径与冷却管（3）的内径相同，且固定管（4）外径小于冷却管（3）的外径，所述固定管（4）上设置有螺纹（1），固定管（4）的外壁上设置有螺母（2），且螺母（2）的内径与固定管（4）的外径之间设置有间隙（5）。

2.根据权利要求1所述的用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置，其特征在于：所述相邻圈的冷却管（3）之间的距离相同。

3.根据权利要求2所述的用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置，其特征在于：所述相邻圈的冷却管（3）之间的距离为20mm。

4.根据权利要求1所述的用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置，其特征在于：所述冷却管（3）的内径为29mm，外径为32mm。

5.根据权利要求1所述的用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置，其特征在于：所述冷却管（3）的两端设置在盘管结构的内部。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的用于蚀刻液回收处理设备中的冷却装置，其特征在于：所述固定管（4）靠近冷却管（3）的一端外壁上设置有防水密封套（7），且螺母（2）能沿着固定管（4）的外壁移动。