[发明专利]氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺无效
| 申请号： | 201210303286.1 | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102992328A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 蒯伟;王航舟;秦西鸣;宋安宁;郑斌 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712038 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 精馏 过程 废气 废液 回收 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，其特征在于：将氯硅烷精馏提纯系统中产生的废气经过换热器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1-2公斤的压力和精馏塔釜温度在80-100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。
2.如权利要求1所述的氯硅烷精馏提纯系统中产生废气、废液的回收工艺，其特征在于：氯硅烷精馏提纯产生的废气首先进入换热器进行冷凝处理，冷凝液体进入废液罐储存；氯硅烷精馏提纯系统产生的废液直接送入废液罐储存，然后通过屏蔽泵将废液打入筛板式精馏塔，通过蒸汽进行加热，控制进料管线和塔釜出料管线上的调节阀，控制加热温度在80-100℃，PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去，塔顶精馏出的氯硅烷气体通过循环水换热器冷凝后送入原生氯硅烷储罐并重新进入氯硅烷精馏提纯系统。
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