[发明专利]待清洗硅片的保存方法无效

专利信息
申请号: 201210298435.X 申请日: 2012-08-21
公开(公告)号: CN102810602A 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 石坚;孙志刚;刘茂华;韩子强 申请(专利权)人: 安阳市凤凰光伏科技有限公司;石坚
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 安阳市智浩专利代理事务所 41116 代理人: 王好勤
地址: 456400 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 清洗 硅片 保存 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及太阳能级硅片的制造技术领域,特别涉及硅片清洗技术。

背景技术

太阳能级硅片切片后会有很多待清洗硅片,目前待清洗硅片的处理方法为:放置于砂浆液中或者暴露于空气中。

而由于清洗设备不稳定或者断电等原因,会使得硅片长时间浸泡在砂浆液中或者暴露在空气中,造成硅片表面脏污氧化或者沉淀,造成在后段清洗中很难或者无法清除,因此,研究一种有效的解决方法,是很有必要的。本方法可以防止难于清洗脏污的形成,保证硅片的清洗效率及效果。

发明内容

本发明的目的是提供一种待清洗硅片的保存方法,此方法可以轻松的使硅片保持切片结束时的状态,使待清洗硅片易于保存,并且不会再硅片表面引入其他杂质,不会使硅片由于长时间得不到清洗而造成表面脏污难于去除,提高了清洗的效率及效果。

为实现上述发明目的,本发明采用如下技术方案:

待清洗硅片的保存方法,其特征在于:硅片切片后立即离开切片机及砂浆液,并且立即放入已经准备好的乙醇溶液中;所述乙醇溶液的体积浓度或重量浓度为≥10%。

其中:

所述硅片切片后离开切片机及砂浆液,并放入乙醇溶液中的时间,控制在30分钟内,进一步控制在15分钟以内,最佳控制在5分钟以内。

所述乙醇溶液温度可选择保持在20-70摄氏度,进一步是30-60摄氏度;也可以是室温状态。

本发明的有益效果是:此方法可以轻松的使硅片保持切片结束时的状态,使待清洗硅片易于保存,并且不会再硅片表面引入其他杂质,不会使硅片由于长时间得不到清洗而造成表面脏污难于去除,提高了清洗的效率及效果。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,并使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合实施例对本发明作进一步详细的说明。

实施例:

首先硅片在切片后应该立即将硅片从切片机及砂浆液中取出,取出后不可长时间暴露于空气中,即从切片后计时起,要在30分钟内放入配制好的乙醇溶液中,配制时,用乙醇的含量为97%,加纯水水配制成乙醇溶液,其体积浓度(或重量浓度)大于或等于10%以上,并且保证溶液温度在20至70摄氏度,将硅片放入溶液中保存。

以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

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