[发明专利]一种掩模板清洗机的夹持机构

权利要求书

1.一种掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：包括底托（1），该底托（1）上设有多个高度不同的支撑座，各支撑座围成夹持区域，每个支撑座上均安装有挡柱（3）和支柱（5）；尺寸小的掩模板通过高度较矮的支撑座上的支柱（5）支撑，并通过挡柱（3）夹持；尺寸大的掩模板通过高度较高的支撑座上的支柱（5）支撑，并通过挡柱（3）夹持。

2.按权利要求1所述掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：所述多个高度不同的支撑座设置在底托（1）的边缘，分为矮支撑座（2）和高支撑座（4），所述矮支撑座（2）和高支撑座（4）间隔设置。

3.按权利要求2所述掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：所述底托（1）为四边形，在四边形的四个顶点处分别设有高支撑座（4），相邻两高支撑座（4）之间均设有矮支撑座（2），即四边形的四条边上均设有矮支撑座（2）。

4.按权利要求3所述掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：所述底托（1）为正方形，每个矮支撑座（2）均处于所在正方形边的中间；相对的两高支撑座（4）之间的连线相互垂直，相对的两矮支撑座（2）之间的连线相互垂直，并且相对的两矮支撑座（2）之间的连线与相对的两高支撑座（4）之间的连线夹角为45°。

5.按权利要求1或2所述掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：各支撑座上的支柱（5）位于挡柱（3）的内侧。

6.按权利要求5所述掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：所述各支撑座上的挡柱（3）为两个，支柱（5）为一个，挡柱（3）的高度高于支柱（5）的高度。

7.按权利要求1或2所述掩模板清洗机的夹持机构，其特征在于：各支撑座分别通过筋板（8）连接在底托（1）内部中心与主轴连接处。