[发明专利]引线框超薄镀钯镀金工艺有效
申请号: | 201210289688.0 | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN102817055A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 刘国强 | 申请(专利权)人: | 中山品高电子材料有限公司 |
主分类号: | C25D5/12 | 分类号: | C25D5/12;C25D3/12;C25D3/50;C25D3/48;C25D5/48;C25D5/34;H01L21/60;H01L23/48 |
代理公司: | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人: | 谢自安 |
地址: | 528400 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 引线 超薄 镀金 工艺 | ||
1.一种引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于包括以下步骤:
a、电解除油:将引线框架基体放入电解溶液中电解20~30s,然后用自来水清洗吹干;
b、引线框架基体活化处理:将电解除油的引线框架基体放入室温的活化溶液中浸泡10~20s,然后用自来水清洗,再用去离子水清洗吹干;
c、电沉积镀镍层:将活化处理过的引线框架基体放入镍镀液中电沉积50~60s,然后用去离子水清洗再吹干;
d、镍层活化处理:将镀镍层的引线框架基体放入镍活化溶液中浸泡5-12s,然后用去离子水清洗再吹干;
e、电沉积镀钯薄层:将镍活化后的引线框架基体放入钯镀液中电沉积10~20s,然后用去离子水清洗再吹干;
f、高频脉冲电沉积镀金薄层:将镀钯后的引线框架基体放入金镀液中电沉积10~20s,然后用金回收水清洗再吹干;
g、过金保护:将镀金的引线框架基体放入金保护溶液中浸泡5-20s,然后用去离子水清洗吹干,即得超薄钯镀层金镀层的引线框架。
2.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的电解溶液含碱性脱脂剂,所述的碱性脱脂剂由除油粉和湿润剂组成,所述的除油粉的含量为60~80g/L,电流密度为5~25安培/平方分米,电解溶液的温度为50~60℃。
3.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的活化溶液为酸性氧化剂,含开缸盐80~120g/L。
4.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述镍镀液含氨基磺酸鎳50~70g/L,含硼酸35~55g/L,镍镀液温度为50~60℃,pH值为3.5~4.5,电流密度为5~25安培/平方分米。
5.根据权利要求4所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的电镀镍层的厚度为0.5~2μm。
6.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的镍活化溶液含镍活化剂100~200ml/L,含硫酸10~30ml/L,镍活化溶液的温度为室温。
7.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的钯镀液含钯盐溶液50~70ml/L,开缸盐250~500ml/L,钯镀液的温度为40~50℃,pH值为7.2~8.0,电流密度为1~10安培/平方分米。
8.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的金镀液含预镀金开缸剂850~950ml/L,氰化金钾2.2~3.6g/L,所述的金镀液的温度为40~45℃,pH值为3.5~4.0,电流密度为3~10安培/平方分米。
9.根据权利要求1所述的引线框超薄镀钯镀金工艺,其特征在于所述的金保护溶液的温度为20~40℃,pH值为2.0~3.5。
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