[发明专利]抑制TFT‐LCD 基板玻璃气泡产生的装置及方法

权利要求书

1.一种抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的装置，其特征在于，包括一个密封容器，该密封容器将玻璃液传送管道的一段包围在内，该容器内表面与玻璃液传送管道外表面之间形成一个密封空间；密封容器的前后两端连接有一个蒸汽循环管道，该蒸汽循环管道连接有蒸汽进气管道；蒸汽进气管道与蒸汽循环管道连接处设置有蒸汽进气阀门，蒸汽循环管道与密封容器前端连接处设有循环进气阀门；蒸汽循环管道与密封容器后端连接处设有循环回气阀门，密封容器中至少设置一个湿度传感器，所述湿度传感器、蒸汽进气阀门、循环进气阀门及循环回气阀门构成蒸汽的闭环控制系统。

2.如权利要求1所述的抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的装置，其特征在于，所述玻璃液传送管道的一段为直管道，或为两小段成一定角度的管道。

3.如权利要求2所述的抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的装置，其特征在于，所述角度大于0°，小于等于90°。

4.如权利要求1所述的抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的装置，其特征在于，所述密闭容器内表面与玻璃液传送管道外表面之间最小距离100mm，最大距离3000mm。

5.如权利要求1所述的抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的装置，其特征在于，所述密封容器内壁采用耐火保温材料制成，外壁采用无磁不锈钢材料制成。

6.一种抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的方法，其特征在于，通过权利要求1所述的抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的装置实现，具体包括：

（1）高温玻璃液从玻璃液传送管道中流过，所流经的一段管道外被密封容器包围，该段管道外表面和密封容器的内表面之间形成了一个密封空间；

（2）蒸汽由蒸汽进气管道送进，通过蒸汽进气阀门进入蒸汽循环管道，进入蒸汽循环管道的蒸汽通过循环进气阀门被冲进密封空间，密封空间中的蒸汽通过循环回气阀门回到蒸汽循环管道；

（3）蒸汽在密封空间中的含量由湿度传感器、蒸汽进气阀门、循环进气阀门及循环回气阀门构成蒸汽的闭环控制系统控制。

7.如权利要求6所述的抑制TFT-LCD基板玻璃气泡产生的方法，其特征在于，密封空间内蒸汽体积含量被控制在大于10％且小于30％。