[发明专利]磁头元件检查方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及对磁头元件进行检查的方法及其装置，特别涉及在磁头元件制造工序的过程中，在形成在基板上的多个磁头元件分别分离之前的卸料器（rover）状态下对写入磁道的有效磁道宽度进行测定时适用的磁头元件检查方法及其装置。

背景技术

作为非破坏性地检查磁头的装置，有使用光学显微镜的方法、使用扫描型电子显微镜（Scanning Electron Microscope：SEM）的方法、使用原子间力显微镜（Atomic Force Microscope：AFM）的方法、使用磁力显微镜（Magnetic Force Microscope：MFM）的方法等。

上述方法分别有优缺点，但在能够非破坏地对磁头为了对硬盘进行写入而产生的磁场进行检查这一点上，使用磁力显微镜（MFM）的方法比使用其他方式的观察手段的方法更优越。

例如，在日本特开2010-175534号公报（专利文件1）中记载了使用该磁力显微镜（MFM）在磁头元件分别分离之前的卸料器状态下对写入磁道的有效磁道宽度进行测定的情况。即，在专利文件1中记载了以下的内容：通过对作为样品的卸料器的磁头电路图案施加电流来产生磁场，二维地对悬臂进行扫描，来将安装在悬臂上的磁性探针接近该产生的磁场，检测悬臂的探针的位移量，由此二维地测定样品所产生的磁场。

在专利文件1中记载了以下内容：通过二维地扫描具有探针的悬臂，来测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布，但没有涉及用于将样品设置在测量位置，不受周围环境的影响地高精度地进行测定的结构及其方法。

专利文件1：日本特开2010-175534号公报

发明内容

本发明的目的在于解决上述的现有技术的问题，提供一种能够测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布的磁头元件检查方法及其装置。

为了解决上述问题，在本发明中，构成了一种磁头元件检查装置，用于对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其中，包括：托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳；载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动；样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部；磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场；有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。

另外，为了解决上述问题，在本发明中，提供一种磁头元件检查方法，用于对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入有效磁道宽度进行检查，其中，在用隔断外部的噪音的隔音壁遮蔽的环境中执行以下步骤：从供给用托盘取出检查前的卸料器，交接到在样品交接位置等待的载物台；使取得了该检查前的卸料器的上述载物台移动到检查位置；在该载物台移动到检查位置的状态下，通过上述载物台使上述卸料器上升，使得上述卸料器与安装在磁力显微镜的悬臂的前端部附近的探针之间的间隙成为预定量；在使该卸料器上升后的状态下，向形成在该卸料器上的多个磁头元件中的一个磁头元件施加交流电流，通过该一个磁头元件产生磁场，用上述磁力显微镜测量该产生的磁场的状态；根据该测量出的磁场的状态，判断形成在上述一个磁头元件上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；通过上述载物台使该写入磁道的有效磁道宽度的优劣的判断结束了的上述卸料器下降；通过上述载物台将该下降后的卸料器从上述检查位置搬运到上述样品交接位置；根据上述写入磁道的有效磁道宽度的优劣的判断结果，将被搬运到该样品交接位置的上述卸料器容纳在用于容纳合格品的托盘或用于容纳不合格品的托盘的某一方中。

根据本发明，能够在隔断了周围的噪音和振动的环境中在卸料器的状态下对磁头元件的磁特性进行检查，将不合格品从合格品分离并回收，因此能够提高磁头的产品合格率。

通过以下的根据附图对本发明的优选实施例的详细说明，能够了解本发明的这些特征和优点。

附图说明

图1是表示本发明的实施例中的磁头元件检查装置的全体结构的框图。

图2是表示本发明的实施例中的磁头元件检查装置的结构的平面图。