[发明专利]磁头元件检查方法及其装置

权利要求书

1.一种磁头元件检查装置，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其特征在于，包括：

托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳；

载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动；

样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部；

磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场；

有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；

除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及

隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。

2.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于，

上述载物台部具备线性电动机，还具备对上述载物台部在检查位置与样品交接位置之间的移动进行引导的导轨部，上述载物台部被上述线性电动机驱动，沿着上述导轨在上述检查位置与样品交接位置之间移动。

3.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于，

上述样品交接部具有对上述卸料器进行真空吸附的真空吸附头，通过上述真空吸附头对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行真空吸附来取出上述卸料器，然后交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。

4.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于，

上述样品交接部具有对上述卸料器的端部进行钓接的钩部，通过上述钩部对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行钓接来取出上述卸料器，然后交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。

5.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于，

上述磁场测量部具备用于观察放置在上述载物台部上的卸料器的观察单元，根据通过该观察单元观察到的上述卸料器的位置信息，通过上述载物台部调整上述卸料器的位置。

6.一种磁头元件检查方法，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入有效磁道宽度进行检查，其特征在于，

在隔断外部的振动的除振台上用隔断外部的噪音的隔音壁遮蔽的环境中执行以下步骤：

从供给用托盘取出检查前的卸料器，交接到在样品交接位置等待的载物台；

使取得了该检查前的卸料器的上述载物台移动到检查位置；

在该载物台移动到检查位置的状态下，通过上述载物台使上述卸料器上升，使得上述卸料器与安装在磁力显微镜的悬臂的前端部附近的探针之间的间隙成为预定量；

在使该卸料器上升后的状态下，向形成在该卸料器上的多个磁头元件中的一个磁头元件施加交流电流，通过该一个磁头元件产生磁场，用上述磁力显微镜测量该产生的磁场的状态；

根据该测量出的磁场的状态，判断形成在上述一个磁头元件上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；

通过上述载物台使该写入磁道的有效磁道宽度的优劣的判断结束了的上述卸料器下降；

通过上述载物台将该下降后的卸料器从上述检查位置搬运到上述样品交接位置；

根据上述写入磁道的有效磁道宽度的优劣的判断结果，将被搬运到该样品交接位置的上述卸料器容纳在用于容纳合格品的托盘或用于容纳不合格品的托盘的某一方中。

7.根据权利要求6所述的磁头元件检查方法，其特征在于，

上述载物台被线性电动机驱动，沿着导轨在上述检查位置与样品交接位置之间移动。

8.根据权利要求6所述的磁头元件检查方法，其特征在于，

通过真空吸附头对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行真空吸附来取出上述卸料器，并交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。

9.根据权利要求6所述的磁头元件检查方法，其特征在于，

通过钩部对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行钓接来取出上述卸料器，并交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。

10.根据权利要求6所述的磁头元件检查方法，其特征在于，通过观察单元观察放置在上述载物台上的卸料器，根据该观察到的上述卸料器的位置信息，通过上述载物台调整上述卸料器的位置。