[发明专利]硅微陀螺芯片探针卡

权利要求书

1.硅微陀螺芯片探针卡，其特征为：所述探针卡包括底座（1）、上盖（4）、弹性夹持机构（2）和若干探针（6）；所述弹性夹持机构（2）为带有芯片定位和弹性夹持功能的装卡机构，并固定于底座（1）的中间部位；所述上盖（4）的中间为孔，孔的位置与大小与弹性夹持机构的位置与大小相配合；所述探针（6）为可以在高度、弧向、径向三个自由度调节的接触式探针；探针（6）安装在上盖（4）上，以辐射状排列，探针针头集中于所测试芯片电极位置附近；底座（1）和上盖（4）通过铰链（8）连接；底座（1）上有若干限位柱（3），上盖（4）有若干与限位柱（3）相配合的限位孔（7）。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征为：所述弹性夹持机构（2）包括两片互成直角的芯片定位片（11）、弹性夹持杆（10），其中一片芯片定位片带有可以放置芯片的镊子夹持孔（12）。

3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征为：所述探针（6）包括钨探针（13）、绝缘片（14）、径向调节杆（15）、弧向调节杆（18）；弧向调节杆（18）中段有一向上凸起部位，底端带有弧向调节孔（19）并通过螺钉固定于探针卡上盖（4）；钨探针（13）固定于绝缘片（14）的一面；绝缘片（14）另一面固定于径向调节杆（15）的前端；径向调节杆（15）前后分别开有高度调节孔（16）和径向调节孔（17），都为滑道形长形孔；径向调节杆（15）通过螺钉穿过径向调节孔（17）、弧向调节杆（18）凸起部位的螺纹孔与弧向调节杆（18）固定；高度调节孔（16）上装有螺钉，螺钉顶端与弧形调节杆（18）的前端非凸起面接触。

4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征为：所述上盖（4）上有用于固定与探针（6）连接的屏蔽线的夹线环（5）。

5.根据权利要求1到4的任一项所述的探针卡，其特征为：所述上盖（4）上有若干在装卡芯片时用于支撑上盖（4）的支撑柱（9）。