[发明专利]改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法

说明书

技术领域

本方法是将薄膜太阳能中的技术核心CIGS划线技术，CIGS与非晶硅、微晶硅相同都需要切成小片的电池来进行串联发电，可以使得太阳能电池电压与电流的提升，来提升发电效率，而在非晶硅与微晶硅中都是使用laser激光进行划线，而CIGS主要是由机械式划线机来进行划线，但其CIGS的钼背电极则可由laser进行划线，其优点是使用laser会有较佳的对位精度，但钼在划线后易产生火山口进而影响效率，本发明是在划线机内设计独特清洁方法，可以去除钼在划线后残留于表面的火山口粉尘，藉此可以改善CIGS进行串联时会有效率降低的问题。

背景技术

业界对于薄膜太阳能电池中已有许多的研究，而在近几年来有一新兴的产业为CIGS产业，其藉由Cu、In、Ga、Se的材料来进行镀膜，此产业的优点在于其只要使用目前市面上最常用的机台PVD即可完成，且在镀膜过程中所使用的气体并不会有危害人员的气体，且其CIGS在光吸收上，可以大量的吸收到长波段(如500nm~1300nm波段)的光源，故其发电转换效率可以达到最高，故是目前许多研究单位及企业追族的材料，而在CIGS中由于镀膜都是使用金属进行镀膜呈半导体状，其使用的背电极则是以钼为主，而吸收层则是CIGS本体，最后则是前电极ITO为主，而CIGS薄膜太阳能与非晶硅太阳能一样，都是需要进行划线来形成小片的电池进行串联发电，其中最常用的就是Laser激光，而CIGS因为本身材料关系，在一般Laser激光划线后容易转相成金属层，进而影响后续制程，故常用机械式划线机，但是CIGS的前电极钼则是可以使用Laser激光进行划线，主要优点是使用Laser激光划线可以有较佳的精准度，藉此可缩小划线的的无效区，但是钼在划线后容易因为熔融产生火山口粉尘，为了去除这些火山口粉尘，故进行本发明来改善火山口问题。

发明内容

本发明主要目的是改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法，当钼背电极采用背切的方式让Laser激光划线后，会因为Laser激光的高温开始对钼有熔融的效果，这样熔融的状况会让划线过后的沟槽开始产生类似火山口状的粉尘，这些火山口粉尘会附着在钼玻璃上，虽然是采用背切，理论其粉尘会向下掉，但是因为火山口粉尘是熔融状，因此并不会掉落，本发明是设计特殊的清洁方法，此清洁方式是在Laser激光划线机内，设计其清洁是使用暖棉且无缝隙的擦拭布在划线后的每一条线作清洁，当玻璃传入到Laser激光划线机内后，其划线是采用背切方式，当划线完毕后，这些火山口粉尘由乾净的擦拭布进行清洁，如此即可去除火山口粉尘，并依此方法可改善后续钼玻璃与CIGS之间介面不佳的情形。

具体实施方式

    兹将本发明配合附图，详细说明如下所示：图1为本发明改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法之划线机示意图，由图中可知，其钼玻璃（2）以膜面朝下作背切的方式由滚轮（1）传送进入Laser划线机本体内部，随后由定位Sensor（3）将玻璃进行定位，此外再由夹子（7）固定住玻璃，此时会先将集尘器（6）开启，此集尘器主要是应用在玻璃在Laser激光划线后瞬间形成的粉尘作吸附的功能，将Laser 激光输出器（4）开启，此雷射所使用的波长是1064nm，此种波长可以完全的划线钼玻璃，而laser激光输出器有一固定器（5）作固定，而划线则是Laser保持不动，玻璃则是靠着夹子固定，然后用滚轮进行传动来作划线，而在划线的时候因为CIGS是采用背切，故钼玻璃膜面需朝下，且靠着集尘器来作粉尘的吸附，此集尘器只能吸附当laser激光瞬间划线后产生的粉尘，对于熔融的火山口粉尘则是利用本发明的清洁方式在Laser机台本体内架式擦拭布（10），这些擦拭布由机械弹簧（9）夹住，此机械弹簧可以作上升下降动作，以让擦拭布可以靠近或远离钼玻璃，而整体是架设在固定架（8）上，当钼玻璃划线完成后会由滚轮传送至擦拭布前开始进行清洁，此方式为乾式的清洁方式，当完成清洁后，即可完整去除火山口粉尘。

   请参阅图2，此为本发明改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法之清洁方式示意图，由图中可以得知，擦拭布（10）夹在机械弹簧（9）里面，且机械弹簧会上升让擦拭布可以接触钼玻璃（2），而主要去除的是钼玻璃在划线后产生的粉尘，因此去除的是划线沟槽（11）内的火山口粉尘，藉此去除粉尘，并且此方法可以在后续进行CIGS镀膜时，其钼与CIGS介面可以有更佳的接触，并藉此来降低介面不佳的问题，且利用Laser激光划线的精准度特性，可以提升太阳能电池玻璃效率。