[发明专利]改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法

权利要求书

1.一种改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法，当钼背电极采用背切的方式让Laser激光划线后，会因为Laser激光的高温开始对钼有熔融的效果，这样熔融的状况会让划线过后的沟槽开始产生类似火山口状的粉尘，这些火山口粉尘会附着在钼玻璃上，虽然是采用背切，理论其粉尘会向下掉，但是因为火山口粉尘是熔融状，因此并不会掉落，本发明是设计特殊的清洁方法，此清洁方式是在Laser激光划线机内，设计其清洁是使用暖棉且无缝隙的擦拭布在划线后的每一条线作清洁，当玻璃传入到Laser激光划线机内后，其划线是采用背切方式，当划线完毕后，这些火山口粉尘由乾净的擦拭布进行清洁，如此即可去除火山口粉尘，并依此方法可改善后续钼玻璃与CIGS之间介面不佳的情形。

2.根据权利要求1所述的改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法，其laser机台内有一组清洁设备，其主要是擦拭布，此擦拭布可以藉由机械弹簧的上升来与钼玻璃进行接触，并藉此来擦拭划线后产生的火山口粉尘。

3.  根据权利要求1所述的改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法，其laser输出器上的laser激光选择1064nm的波长，这种波长的能隙值与钼玻璃相近，因此可以完全被钼玻璃吸收并可以得到较佳的划线品质。

4.  根据权利要求1所述的改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法，其机械弹簧固定在固定架上，此机械弹簧可以作上升或下降，且机械弹簧可以精准的让擦拭布与划线沟槽接触，藉此来将火山口粉尘去除，且不会让粉尘再次与钼玻璃作接触，藉此提升后续钼与CIGS介面接触。

5.  根据权利要求1所述的改善钼背电极在激光背切后的特殊清洁方法，其玻璃是采用背切方式，主要是因为膜层的底部为背电极，而Laser激光则是从下往上出光，因此划线后会产生粉尘，此设计中的集尘器可以吸附这些瞬间划线所产生的粉尘或者是Laser激光划线后所掉落的粉尘，而火山口粉尘则是需要本设计的清洁方式来作清洁，才可以完整去除火山口粉尘，并可以让后续钼玻璃与CIGS的镀膜介面有较佳品质。