[发明专利]自动光学检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及基板缺陷检测领域，特别是涉及一种用于检测基板缺陷的自动光学检测装置。

背景技术

自动光学检测是液晶行业对玻璃基板等基板类原料及半成品的常用的检测手段。其中自动光学检测装置可用于检测基板表面的图像是否符合规定、是否存在由破坏性物质造成的坏点以及判定破坏性物质等造成的坏点的准确位置。一般采用自动光学检测装置的CCD（Charge-coupled Device，电荷耦合元件）图像传感器对被检测基板拍照得到被检测基板的灰度图像，然后通过对该灰度图像进行分析，判定被检测基板是否存在坏点。

图1是一种现有的自动光学检测装置的结构示意图，该自动光学检测装置包括图像传感器11、传感器固定平台12、基板承载平台13以及基板传送模块（图中未示出）。该自动光学检测装置使用时，被检测基板14（如玻璃基板）在基板传送模块的驱动下，在基板承载平台13上移动；同时设置在被检测基板14上方的图像传感器11对被检测基板14的表面进行拍照，并将拍照的图像转换为灰度图像后，与事先输入的基板灰度图像进行对比，依此判定被检测基板14是否存在坏点以及坏点的位置。

但是该自动光学检测装置只能对被检测基板14的表面的坏点等缺陷进行很好的检测，如被检测基板14的内部出现坏点等缺陷，则可能无法检测出来，从而使得不合格的基板流入到下一工序中。

故，有必要提供一种自动光学检测装置，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以检测到基板内部缺陷的自动光学检测装置，解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明涉及一种自动光学检测装置，其包括：

基板承载平台，用于承载被检测基板；

传感器固定平台，设置在所述被检测基板的上方；

图像传感器，设置在所述传感器固定平台上，用于对所述被检测基板进行拍照；以及

背光源，设置在所述被检测基板的下方，与所述图像传感器的位置相对应，用于照射所述被检测基板的被检测部分。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述基板承载平台上设置有一缺口部，所述背光源设置在所述缺口部内。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述缺口部内还设置有用于提供托力给所述被检测基板的吹风模块，所述背光源设置在所述吹风模块的上方。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述吹风模块根据所述被检测基板的重量设定风压。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述背光源活动设置在所述缺口部内，所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述缺口部内还设置有用于承载所述被检测基板的透明玻璃托板，所述背光源设置在所述透明玻璃托板的下方。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述透明玻璃托板的上表面与所述基板承载平台的上表面平齐。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述背光源活动设置在所述缺口部内，所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述背光源固定设置在整个所述缺口部内。

在本发明所述的自动光学检测装置中，所述透明玻璃托板的上表面贴附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光贴片。

相较于现有的自动光学检测装置，本发明的自动光学检测装置可检测到基板内部缺陷，解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

附图说明

图1是一种现有的自动光学检测装置的结构示意图；

图2为本发明的自动光学检测装置的第一优选实施例的侧视结构图；

图3为按图2的截面线A-A’方向所示的截面图；

图4为本发明的自动光学检测装置的第二优选实施例的侧视结构图；

图5为按图4的截面线B-B’方向所示的截面图；

其中，附图标记说明如下：

21、图像传感器；

22、传感器固定平台；

23、基板承载平台；

231、缺口部；

232、吹风模块；

333、透明玻璃托板；

334、吸光贴片；

24、被检测基板；

25、背光源。