[发明专利]自动光学检测装置无效
申请号: | 201210259431.0 | 申请日: | 2012-07-25 |
公开(公告)号: | CN102759531A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 林勇佑 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/956 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 欧阳启明 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 光学 检测 装置 | ||
1.一种自动光学检测装置,其特征在于,包括:
基板承载平台,用于承载被检测基板;
传感器固定平台,设置在所述被检测基板的上方;
图像传感器,设置在所述传感器固定平台上,用于对所述被检测基板进行拍照;以及
背光源,设置在所述被检测基板的下方,与所述图像传感器的位置相对应,用于照射所述被检测基板的被检测部分。
2.根据权利要求1所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述基板承载平台上设置有一缺口部,所述背光源设置在所述缺口部内。
3.根据权利要求2所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述缺口部内还设置有用于提供托力给所述被检测基板的吹风模块,所述背光源设置在所述吹风模块的上方。
4.根据权利要求3所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述吹风模块根据所述被检测基板的重量设定风压。
5.根据权利要求3所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述背光源活动设置在所述缺口部内,所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。
6.根据权利要求2所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述缺口部内还设置有用于承载所述被检测基板的透明玻璃托板,所述背光源设置在所述透明玻璃托板的下方。
7.根据权利要求6所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述透明玻璃托板的上表面与所述基板承载平台的上表面平齐。
8.根据权利要求6所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述背光源活动设置在所述缺口部内,所述背光源与所述传感器固定平台同步运动。
9.根据权利要求6所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述背光源固定设置在整个所述缺口部内。
10.根据权利要求6所述的自动光学检测装置,其特征在于,所述透明玻璃托板的上表面贴附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光贴片。
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