[发明专利]应用于光学系统的检测装置有效
| 申请号: | 201210249906.8 | 申请日: | 2012-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN102749188A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
| 发明(设计)人: | 韩森 | 申请(专利权)人: | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡 |
| 地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 应用于 光学系统 检测 装置 | ||
技术领域
本发明涉及光学检测装置,尤其涉及一种应用于光学系统的检测装置。
背景技术
现有的干涉仪主要着眼于单个光学元器件的检测,而对于光学系统的整体检测存在技术空白。比如说,在民用望远镜行业中,现有仪器能够解决民用望远镜中的单一镜片性能数据检测问题,而不能解决望远镜系统性能数据检测的问题。因而,望远镜的整体质量和一致性水平就很难提高。
因此,填补检测光学系统的技术空白,提高光学系统整体质量水平成为本领域普通技术人员努力的方向。
发明内容
本发明提供一种应用于光学系统的检测装置,此检测装置实现了对光学系统综合性能的检测,并进一步排除非光学系统因素所导致的缺陷,从而提高测试数据的可靠性。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种应用于光学系统的检测装置,包括:
菲索型干涉仪,用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像;
反光镜,用于将所述光学系统输出的光束沿原光路返回至光学系统和菲索型干涉仪;
标准镜,位于所述菲索型干涉仪前端,其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束;
所述光学系统位于所述标准镜和反光镜之间,用于接收来自所述标准镜的透射光束;
一半透明的对准部件罩于所述光学系统靠近反光镜侧的右端部,此对准部件中心设置有中心圆孔;
一可变光阑罩于所述光学系统靠近标准镜侧的左端部,此可变光阑中心处的孔径大小可调节,其用于控制进入光学系统中光束的光斑大小。
上述技术方案进一步改进技术方案如下:
1. 上述方案中,当所述光学系统的入射光平行时;所述标准镜为平面标准镜,所述反光镜为平面反光镜;或者,所述标准镜为平面标准镜,所述反光镜为球面反光镜;
当所述光学系统的入射光发散时;所述标准镜为球面标准镜,所述反光镜为平面反光镜;或者,所述标准镜为球面标准镜,所述反光镜为球面反光镜;
当所述光学系统的入射光汇聚时;所述标准镜为球面标准镜,所述反光镜为平面反光镜;或者,所述标准镜为球面标准镜,所述反光镜为球面反光镜。
2. 上述方案中,所述可变光阑的孔径最大为所述光学系统左端的通光孔径、最小为对准部件的中心圆孔的直径大小。
3. 上述方案中,所述对准部件的中心圆孔直径为2mm。
4. 上述方案中,所述对准部件为涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻璃。
5. 上述方案中,所述对准部件为可沿其筒壁方向伸缩移动。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
本发明应用于光学系统的检测装置,利用菲索型干涉仪,将待检测的光学系统位于所述标准镜和反光镜之间,实现了对光学系统综合性能的检测;其次,本发明采用在半透明的对准部件罩于所述光学系统靠近反光镜侧的右端部,可变光阑罩于所述光学系统靠近标准镜侧的左端部,此可变光阑中心处的孔径大小可调节,其进一步排除非光学系统因素所导致的缺陷,从而提高测试数据的可靠性;再次,涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻璃作为对准部件,能及时并有利于对待测的光学系统进行水平校正,从而提高了工作效率。
附图说明
附图1为本发明应用于光学系统的检测装置结构示意图;
附图2为本发明对准部件中光斑位置示意图;
附图3为本发明检测装置应用于光学系统示意图一;
附图4为本发明检测装置应用于光学系统示意图二;
附图5为本发明检测装置应用于光学系统示意图三;
附图6为本发明检测装置应用于光学系统示意图四;
附图7为本发明检测装置应用于光学系统示意图五;
附图8为本发明检测装置应用于光学系统示意图六;
附图9为本发明检测装置应用于光学系统示意图七;
附图10为本发明检测装置应用于光学系统示意图八;
附图11为本发明检测装置应用于光学系统示意图九。
以上附图中:1、菲索型干涉仪;2、反光镜;3、标准镜;4、光学系统;5、对准部件;6、中心圆孔;7、可变光阑;8、筒壁。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述:
实施例:一种应用于光学系统的检测装置,如附图所示,包括:
菲索型干涉仪1,用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像;
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