[发明专利]应用于光学系统的检测装置有效
| 申请号： | 201210249906.8 | 申请日： | 2012-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102749188A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 韩森 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 光学系统 检测 装置 | ||
1.一种应用于光学系统的检测装置，其特征在于：包括：
菲索型干涉仪（1），用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像；
反光镜（2），用于将所述光学系统（4）输出的光束沿原光路返回至光学系统和菲索型干涉仪；
标准镜（3），位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束；
所述光学系统（4）位于所述标准镜（3）和反光镜（2）之间，用于接收来自所述标准镜（3）的透射光束；
一半透明的对准部件（5）罩于所述光学系统（4）靠近反光镜侧的右端部，此对准部件（5）中心设置有中心圆孔（6）；
一可变光阑（7）罩于所述光学系统（4）靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑（7）中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入光学系统（4）中光束的光斑大小。
2. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：
当所述光学系统（4）的入射光平行时；所述标准镜（3）为平面标准镜，所述反光镜（2）为平面反光镜；或者，所述标准镜（3）为平面标准镜，所述反光镜（2）为球面反光镜；
当所述光学系统（4）的入射光发散时；所述标准镜（3）为球面标准镜，所述反光镜（2）为平面反光镜；或者，所述标准镜（3）为球面标准镜，所述反光镜（2）为球面反光镜；
当所述光学系统（4）的入射光汇聚时；所述标准镜（3）为球面标准镜，所述反光镜（2）为平面反光镜；或者，所述标准镜（3）为球面标准镜，所述反光镜（2）为球面反光镜。
3. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述可变光阑（7）的孔径最大为所述光学系统左端的通光孔径、最小为对准部件（5）的中心圆孔的直径大小。
4. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述对准部件（5）的中心圆孔直径为2mm。
5. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述对准部件（5）为涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻璃。
6. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述对准部件（5）为可沿其筒壁（8）方向伸缩移动。
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