[发明专利]电光装置、投影型显示装置、电子设备及电光装置的制造方法

权利要求书

1.一种电光装置，其特征在于，具有：

多个像素电极，其设置于基板的一方的面侧；

第1绝缘膜，其设置于所述基板与所述像素电极之间，在俯视与所述像素电极重叠的位置具备朝向所述像素电极突出的柱状凸部；

导电层，其设置于该第1绝缘膜与所述像素电极之间，具备俯视重叠于所述柱状凸部的顶端面的导通部；和

第2绝缘膜，其设置于所述导电层与所述像素电极之间，在所述像素电极侧的面使所述导通部露出；

所述像素电极叠层于所述第2绝缘膜的该像素电极侧的面而与所述导通部导通。

2.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于：

所述导通部的所述像素电极侧的面与所述第2绝缘膜的所述像素电极侧的面形成连续的平坦面。

3.根据权利要求1或2所述的电光装置，其特征在于，具备：

电容电极层，其设置于所述导电层与所述基板之间；和

电介质层，其设置于所述电容电极层与所述导电层之间；

通过所述电容电极层、所述电介质层及所述导电层构成存储电容。

4.根据权利要求3所述的电光装置，其特征在于：

所述第1绝缘膜设置于所述电容电极层与所述导电层之间；

在所述电容电极层与所述导电层俯视重叠的区域设置开口部。

5.根据权利要求4所述的电光装置，其特征在于：

在俯视与所述多个像素电极之中的相邻的像素电极之间重叠的区域设置所述导电层及所述电容电极层。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的电光装置，其特征在于：

所述柱状凸部设置于俯视重叠于所述电容电极层的位置。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的电光装置，其特征在于，

所述基板在与对置配置于所述一方的面侧的对置基板之间对液晶层进行保持。

8.一种电光装置的制造方法，其特征在于，包括以下工序：

第1绝缘膜形成工序，其在基板的一方的面侧形成第1绝缘膜；

柱状凸部形成工序，其对所述第1绝缘膜的表面部分性地进行蚀刻而在所述第1绝缘膜形成朝向上方突出的柱状凸部；

导电层形成工序，其在包括所述柱状凸部的形成区域的所述第1绝缘膜上形成导电层；

第2绝缘膜形成工序，其在该导电层上形成第2绝缘膜；

导通部露出工序，其从表面侧去除所述第2绝缘膜而在所述导电层中使俯视重叠于所述柱状凸部的顶端面的部分作为导通部露出；和

像素电极形成工序，其在包括所述导通部的露出区域的所述第2绝缘膜上形成像素电极。

9.一种投影型显示装置，其特征在于：

具备权利要求1～7中任一项所述的电光装置；

具有光源部和投影光学系统，所述光源部出射照射于所述电光装置的照明光，所述投影光学系统对通过所述电光装置调制后的光进行投影。

10.一种电子设备，其特征在于：

具备权利要求1～7中任一项所述的电光装置。