[发明专利]热气泡角加速仪

权利要求书

1.一种热气泡角加速仪，包含：

一第一绝热基板；以及

一第一角加速度感测装置，设置于该第一绝热基板上，用于量测绕一第一轴的角加速度，该第一角加速度感测装置包含至少一温度感测元件组，该温度感测元件组包含两个温度感测元件、和设置于该两个温度感测元件之间的一加热器，其中该两个温度感测元件靠近该第一转轴的两端间的距离大于远离该第一转轴的两端间的距离。

2.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其中各该温度感测元件与该加热器间的夹角，介于25至35度。

3.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，更包含一第一支撑层，设置于该第一绝热基板上，并支撑该第一角加速度感测装置。

4.根据权利要求3所述的热气泡角加速仪，其中该第一支撑层包含一正极性光阻。

5.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其中该第一角加速度感测装置位于一第一凹槽上。

6.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，更包含一封装盖体及一惰性气体，其中该封装盖体覆盖部分的该两个温度感测元件，而该惰性气体在该封装盖体内。

7.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其中该加热器包含镍或铬。

8.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其中各该温度感测元件包含至少一电阻，或多个串联的热电偶。

9.根据权利要求8所述的热气泡角加速仪，其中各该热电偶，包含克铬美合金，或亚铝美合金。

10.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其中各该温度感测元件包含P型掺杂多晶硅。

11.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其更包含多个接触垫，该多个接触垫对应该两个温度感测元件及该加热器，其中该多个接触垫再分别连接至一控制晶片，以便由该控制晶片同步启动加热器及两个温度感测元件的电源，进行角加速度的量测，其中该控制晶片提供脉冲式输出电力，以节省能源。

12.根据权利要求11所述的热气泡角加速仪，其中该两个温度感测元件和该加热器的每一者，各连接两不同的接触垫。

13.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，其包含两温度感测元件组，其中该两温度感测元件组的加热器是串联，该两温度感测元件组中对应的温度感测元件是串联。

14.根据权利要求1所述的热气泡角加速仪，更包含：

一第一插座，设置于该第一绝热基板上；

一第二绝热基板，插置于该第一插座；

多个接触垫，设置于该第二绝热基板；以及

一第二角加速度感测装置，设置于该第二绝热基板，用于量测绕一第二转轴的角加速度，该第二角加速度感测装置包含至少一温度感测元件组，而该第二角加速度感测装置的该温度感测元件组包含：

两温度感测元件，耦接至相对应的接触垫；及

一加热器，设置于该第二角加速度感测装置的该两温度感测元件之

间，其中该第二角加速度感测装置的该两温度感测元件靠近该第二转轴

的两端间的距离大于远离该第二转轴的两端间的距离。

15.根据权利要求14所述的热气泡角加速仪，其中该第二角加速度感测装置的各该温度感测元件与该第二角加速度感测装置的该加热器间的夹角，介于25至35度。

16.根据权利要求14所述的热气泡角加速仪，更包含一第二支撑层，附着该第二绝热基板，并支撑该第二角加速度感测装置。

17.根据权利要求14所述的热气泡角加速仪，其中该第二角加速度感测装置设置于一第二凹槽上。

18.根据权利要求14所述的热气泡角加速仪，其中该第二角加速度感测装置包含相对应设置的两温度感测元件组。