[发明专利]一种气浮平面电机初始零位的定位方法

说明书

技术领域

本发明涉及平面电机动子平台定位方法，特别涉及一种气浮支撑方式的平面电机动子平台初始零位的确定方法，属于机械控制技术领域。

背景技术

随着先进制造业的快速发展，在现代半导体加工装备、微立体光刻、纳米工作台及其他微细精密加工设备中，大行程运动由直线电机实现，而高精度运动则由高精密平面电机来实现。

高精度平面电机动子平台的轴承支撑方式有很多种，为实现高精度平面电机的快速准确定位，需实现动子平台的无摩擦悬浮支撑。目前无摩擦悬浮支撑技术主要有以下四种：电动悬浮、超导悬浮、气浮及磁悬浮。在实际系统中，无摩擦悬浮支撑能较好的实现快速定位，但由于动子平台在未受控前是属于自由状态，若考虑到线缆扰动的影响，动子平台的初始位置也会在一个未知的位置，考虑到很多精密测量设备的测试条件需要动子平台的初始零位在一个较小范围，因此，初始位置到初始零位的运动方法是需要考虑和解决的问题。

发明内容

本发明的目的提供一种气浮平面电机动子平台初始零点的确定方法，用以克服气浮平面电机动子平台初始位置随机性的问题，为整个平面电机控制系统提供必要的基准位置，使测试设备能够正常运作。

为达到上述发明目的，本发明采取的技术方案如下：

一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装磁钢阵列，动子平台采用气浮轴承支承，动子平台下表面固定安装线圈阵列，所述线圈阵列包括结构相同的四组三相线圈，其中第一组线圈和第三组线圈长边沿Y方向，第二组线圈和第四组线圈长边沿X方向，每组三相线圈均采用星型连接方式，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角，其特征在于，所述定位方法包括以下步骤：

1）在动子平台的四组线圈中，选取两组相互垂直线圈，设选取的线圈为：第一组线圈和第二组线圈；

2）第一组线圈各相线圈和第二组线圈各相线圈分别接入驱动器装置，所述驱动器装置包括六个线性驱动器；

3）驱动器分别给第一组线圈各相线圈通入电流I₁₁、I₁₂和I₁₃，给第二组线圈各相线圈通入电流I₂₁、I₂₂和I₂₃，并且通入电流满足以下关系：

I11+I12+I13=0I21+I22+I23=0;]]>

4）经过上述步骤1）到步骤3），动子平台运动到初始零位的位置，系统每次上电工作前，依照步骤1）至步骤3）进行初始零位的确定，此时，系统的测量设备正常工作，驱动装置切换到平面电机正常工作状态下。

本发明的技术特征还在于设一组线圈各相中通入电流大小为I₁、I₂和I₃，设受到最大的线缆扰动转矩为T_n，动子平台的质心到线圈阵列中心受力力臂为L，线圈提供的驱动力为F，线圈能承受的最大持续电流为I_max，符合下列表达式：