[发明专利]一种气浮平面电机初始零位的定位方法

权利要求书

1.一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台（101）和动子平台（103），定子平台（101）上方固定安装磁钢阵列（102），动子平台（103）采用气浮轴承（205）支承，动子平台（103）下表面固定安装线圈阵列（200），所述线圈阵列（200）包括结构相同的四组三相线圈，其中第一组线圈（201）和第三组线圈（203）长边沿Y方向，第二组线圈（202）和第四组线圈（204）长边沿X方向，每组三相线圈均采用星型连接方式，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角，其特征在于，所述定位方法包括以下步骤：

1）在动子平台（103）的四组线圈中，选取两组相互垂直线圈，设选取的线圈为：第一组线圈（201）和第二组线圈（202）；

2）第一组线圈（201）各相线圈和第二组线圈（202）各相线圈分别接入驱动器装置（301），所述驱动器装置（301）包括六个线性驱动器；

3）驱动器分别给第一组线圈（201）各相线圈通入电流I₁₁、I₁₂和I₁₃，分别给第二组线圈（202）各相线圈通入电流I₂₁、I₂₂和I₂₃，并且通入电流满足以下关系：

I11+I12+I13=0I21+I22+I23=0;]]>

4）经过上述步骤1）到步骤3），动子平台（103）运动到初始零位的位置，系统每次上电工作前，依照步骤1）至步骤3）进行初始零位的确定，此时，系统的测量设备正常工作，驱动装置切换到平面电机正常工作状态下。

2.根据权利要求1所述的一种气浮平面电机初始零位的定位方法，其特征在于，设一组线圈各相中通入电流大小为I₁、I₂和I₃，设受到最大的线缆扰动转矩为T_n，动子平台（103）的质心到线圈阵列（200）中心受力力臂为L，线圈提供的驱动力为F，线圈能承受的最大持续电流为I_max，符合下列表达式：

2FL≥Tnmax(I1,I2,I3)<Imax.]]>