[发明专利]提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法无效
| 申请号： | 201210238366.3 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN102749480A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邵志峰;张金金;丹尼尔·恰科夫;孙洁林;沈轶;胡钧 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 静电力 驱动 原子 显微镜 探针 悬臂 振动 幅度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，包括下列步骤：
在探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃上施加交流电压，产生静电场；
所述静电场产生的静电力作用在所述探针悬臂上，驱动所述探针悬臂振动；
在施加交流电压的基础上施加直流偏压，提高所述探针悬臂的振动幅度；
根据所述探针悬臂振动的频谱图，结合原子力显微镜进行成像。
2.根据权利要求1所述的提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，所述导电玻璃为铟化镓玻璃。
3.根据权利要求1所述的提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，所述交流电压的频率为探针悬臂的本征共振频率。
4.根据权利要求1所述的提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，所述探针悬臂振动的频谱图由数据采集卡采集所述探针悬臂的振动信号，并通过傅里叶变换将时域信号变换为频域信号，从而产生所述探针悬臂振动的频谱图。
5.根据权利要求4所述的提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，所述数据采集卡采样频率为5MHz，采样数为1M。
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