[发明专利]一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法有效
| 申请号: | 201210237127.6 | 申请日: | 2012-07-10 |
| 公开(公告)号: | CN102749143A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
| 发明(设计)人: | 田雨;饶学军;饶长辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
| 代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 杨学明;顾炜 |
| 地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提高 哈特曼波前 传感器 测量 精度 波前重构 方法 | ||
1.一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:
步骤(1)、记录夏克-哈特曼波前传感器探测到的初始波前像差子孔径排布pi(x,y)以及哈特曼点阵S0(x,y),其中i≤M,M为子孔径数;
步骤(2)、将初始波前像差根据子孔径排布pi(x,y)在计算机上对做区域分割并进行二次成像,得到哈特曼点阵Sest(x,y);
步骤(3)、根据子孔径排布pi(x,y)计算各个子孔径的质心坐标(gx,i,gy,i)并得到各个子孔径的斜率;
步骤(4)、将各个子孔径的斜率斜率复原为波前像差
步骤(5)、估计出的波前像差根据子孔径排布在计算机上重新做区域分割并进行二次成像,得到新的哈特曼点阵S'est(x,y);为保持迭代过程符号一致,令:
Sest(x,y)=Sest(x,y);
步骤(6)、度量S0(x,y)与Sest(x,y)的相似性,并以此作为迭代停止条件,若满足迭代停止条件的要求则输出波前像差否则转向步骤(3)继续迭代。
2.根据权利要求1所述的一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法,其特征在于:所述步骤(1)中的由夏克-哈特曼波前传感器计算得到;而S0(x,y)则由夏克-哈特曼波前传感器的CCD元件给出;pi(x,y)由夏克-哈特曼波前传感器的微透镜排布得到:
式中,(ai,bi)指第i个子孔径左下角的坐标点,ai,bi为(ai,bi)的坐标值,cx与cy分别指子孔径在x与y方向上的长度。
3.根据权利要求1所述的一种提高夏克-哈特曼波前传感器测量精度的波前重构方法,其特征在于:所述步骤(2)中使用pi(x,y)对进行分割的方法是:
对应的第i个子孔径,其中i≤M,有:
按此分割,最终可以得到M个
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