[发明专利]束靶耦合传感器离线精密标定装置及标定方法

权利要求书

1.束靶耦合传感器离线精密标定装置，其特征在于，它包括：靶架（1）、束靶耦合传感器（2）、四个模拟激光源（3）、上部调焦平台（4）、下部调焦平台（11），上部束靶耦合监测系统（5）、下部束靶耦合监测系统（12）、标定用靶（6）、两个内调焦望远镜（7）、传感器二维调整平台（8）和防震平台（9）；

所述防震平台（9）水平设置放置，所述靶架（1）、上部调焦平台（4）、下部调焦平台（11）、两个内调焦望远镜（7）和传感器二维调整平台（8）均固定安装在防震平台（9）上；

所述标定用靶（6）固定在靶架（1）上，并放置在束靶耦合传感器（2）的上物镜光轴和中路物镜光轴的交点的位置上；

束靶耦合传感器（2）固定在传感器二维调整平台（8）上，上部束靶耦合监测系统（5）固定安装在上部调焦平台（4）上，下部束靶耦合监测系统（12）固定安装在下部调焦平台（11）上；

所述四个模拟激光源（3）分为两组，其中位于上方的两个模拟激光源为一组，该组模拟激光源所发射的两束激光以45°的入射角度入射至标定用靶（6）的上表面的中心位置处，该两束激光垂直相交，交点落在标定用靶（6）靶面的上表面上；位于的下方的两个模拟激光源为另一组，该组模拟激光源所发射的两束激光以45°的入射角度入射至标定用靶（6）的下表面的中心位置处，该两束激光垂直相交，交点落在标定用靶（6）靶面的下表面上；所述两个内调焦望远镜（7）用于实现标定束靶耦合传感器（2）的中心位置。

2.根据权利要求1所述的束靶耦合传感器离线精密标定装置，其特征在于：所述上部束靶耦合监测系统（5）与下部束靶耦合监测系统（12）均位于束靶耦合传感器（2）的上物镜光轴的轴线上，且以标定用靶（6）镜像对称设置。

3.根据权利要求1所述的束靶耦合传感器离线精密标定装置，其特征在于：所述防震平台（9）是由双零级大理石制成。

4.根据权利要求1所述的束靶耦合传感器离线精密标定装置，其特征在于：所述标定用靶（6）的靶面与束靶耦合传感器（2）的上物镜的镜面与下物镜的镜面平行设置。

5.基于权利要求1所述的束靶耦合传感器离线精密标定装置的标定方法，其特征在于，它是通过如下步骤实现的：

步骤一、以防震平台（9）为基准面，将束靶耦合传感器（2）的上、下两路反射镜的镜面、CCD像面和标定用靶（6）的靶面调整至相互平行；

步骤二、以标定用靶（6）的上下表面为基准调整四个模拟激光源（3）所发射激光的入射角度均为45°；

步骤三、通过上部束靶耦合监测系统（5）和下部束靶耦合监测系统（12）分别将位于上面两侧的激光在标定用靶（6）的上靶面的两个光点重合为一点并引导至该靶面的中心位置处，位于下面两侧的激光在标定用靶（6）的下靶面的两个光点重合为一点并引导至该靶面的中心位置处；

步骤四、在束靶耦合传感器（2）的CCD像面上观察靶和激光的分布情况，确定共轭面的位置及参数，实现束靶耦合传感器的精密标定；

步骤五、通过两个内调焦望远镜（7），标定出束靶耦合传感器（2）中放置标定用靶（6）的中心位置，为下一次定位标定用靶（6）提供基准。