[发明专利]检测电路的方法有效
申请号: | 201210233304.3 | 申请日: | 2012-07-06 |
公开(公告)号: | CN103323467A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 郑智杰;吕尚杰;黄国唐 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 电路 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种检测电路的方法。
背景技术
随着电子产业的技术的提升,现有的电路产品,如印刷电路板、软板或底片,亦随之高度发展,而电路产品的线路的宽度也由早期的4mil演变至2mil(千分之一寸),并演变至微细化。
现有的电路产品的瑕疵检出,其是应用一设计规则检查(Design Rule Check,DRC)来检出,但DRC针对不同设计图案常需开发新的法则,并且对设计与制造过程的错误无法检出,故又进一步引用参考影像比对法(GERBER),以补强DRC的缺点,但是参考影像比对法须处理大量参考影像、大量的运算与精准的定位(校准),所以参考影像比对法无法提升检测速度,并且参考影像比对法具有相当的误判率。
发明内容
有鉴于上述的缺点,本发明的目的在于提供一种检测电路的方法,其是将数个分组分配给各产线,以产出一检出结果,藉以提升检测速度与降低误判率。
为了达到上述的目的,本发明的技术手段在于提供一种检测电路的方法,其步骤包含有:
提供一分组给一产线;
于该产线中定位该分组;以及
经定位的分组进行检出,并产生一检出结果,并输出该检出结果。
综合上述,本发明检测电路的方法,其将分组以不指定顺序给予待处理工作负荷量最少的产线,以达到最大产能,并且能够边扫描边检出,以及扫描完即检出完毕的目的,故本发明能够达到提升检测速度与降低误判率的优点。
附图说明
图1为本发明的一种检测电路的方法的流程示意图。
图2为本发明的一种平行委派的流程示意图。
图3为本发明的一种定位前处理的流程示意图。
图4为本发明的一种定位的流程示意图。
图5为本发明的一参考位置表与一列表总的示意图。
图6本发明的一重迭法的示意图。
图7为本发明的一局部区域搜寻法的流程示意图。
图8为本发明的一重迭密合度与位置的曲线示意图。
图9为一定位结果的示意图。
图10为一范围的示意图。
图11为一扩大边界的示意图。
图12为扩大边界的另一示意图。
图13为扩大边界的再一示意图。
图14为一区域位置的示意图。
附图符号说明
10~13 步骤
20 产线
21~25 步骤
300~314 步骤
4 步骤
40~41 步骤
5 步骤
50 参考位置表
51 列表总合
52 数据储存结构
60 待测影像
61 定位点
62 参考影像
70 定位结果
71 范围
72 边界
73 区域位置
具体实施方式
以下藉由特定的具体实施例说明本发明的实施方式,本领域的技术人员可由本说明书所揭示的内容,轻易地了解本发明的其他优点与功效。
请参考图1所示,本发明一种检测电路的方法,其步骤包含有:
提供一分组(package)给一产线10,请参考图2所示,分组为多个,多个分组通过一平行委派的方法,以提供给多个产线20中的其一产线20。
如图2所示,该平行委派的方法,其步骤包含有:
判断是否具有一待测影像21,若有,于一待测影像串流中撷取一待测影像22,该待测影像为一电路影像;若无,回至一判断模式,即判断是否具有一待测影像。
提供一参考影像23,参考影像是由一参考影像串流中所撷取。
产生一分组24,分组具有前述的待测影像、前述的参考影像与一检测参数。
计算各产线的工作负荷量25,若其一产线20的工作负荷量低于一设定值,提供分组给产线20,设定值为一常数,或者为该产线的工作负荷量低于其余各产线的工作负荷量,而且若多个分组欲进入产线20,多个分组是以一链结方式传递至产线20。
于产线中定位分组11,请参考图3所示,于分组定位前需经一定位前处理,该定位前处理的步骤,其包含有:
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