[发明专利]输送装置

权利要求书

1.一种输送装置，其特征在于，

该输送装置包括：

腔室；

基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；

第1磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁；

第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；以及

支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，

通过使上述第1磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

上述基板支承体在与行进方向垂直的截面中具有倾斜的两个侧面，能够利用上述两个侧面支承基板。

3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

该输送装置还包括第2磁小齿轮，该第2磁小齿轮具有多个小齿轮磁铁，通过第1轴与上述第1磁小齿轮连接，且配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合，上述第2磁小齿轮以上述第1磁小齿轮与上述第2磁小齿轮隔着上述第1磁齿条的方式配置，

通过使上述第1磁小齿轮和上述第2磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。

4.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，

上述第1磁小齿轮的多个小齿轮磁铁与上述第2磁小齿轮的多个小齿轮磁铁错开相位地配置。

5.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，

在上述第1轴上设有能够旋转的第3磁小齿轮，该第3磁小齿轮具有用于在与上述第1磁齿条之间产生磁排斥力的多个小齿轮磁铁。

6.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，

在上述第1轴上设有能够旋转的第3磁小齿轮，该第3磁小齿轮具有用于在与上述第1磁齿条之间产生磁吸附力的多个小齿轮磁铁。

7.根据权利要求6所述的输送装置，其特征在于，

该输送装置还包括：

第2磁齿条，配置于上述基板支承体上且与上述第1磁齿条相反侧，具有呈直线排列的多个齿条磁铁；

第4磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第2磁齿条的一侧，与上述第2磁齿条磁耦合；

第5磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，与上述第4磁小齿轮的第2轴连接，且配置于上述第2磁齿条的另一侧，与上述第2磁齿条磁耦合；以及

能够旋转的第6磁小齿轮，设于上述第2轴，具有用于在与上述第2磁齿条之间产生磁吸附力的多个小齿轮磁铁。

8.一种输送装置，其特征在于，

该输送装置包括：

腔室；

基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；

第1磁齿条，设于上述基板支承体；

第1磁小齿轮；以及

支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，

通过使上述第1磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。

9.根据权利要求8所述的输送装置，其特征在于，

该输送装置还包括：

第1构件，设于上述基板支承体的上部；以及

第2构件，以与上述第1构件相对的方式设于上述腔室，

在上述第1构件与上述第2构件之间产生磁力，由于该磁力，上述基板支承体受到向上的力。

10.根据权利要求8或9所述的输送装置，其特征在于，

上述基板支承体具有支承基板的第1面和该第1面的相反侧的第2面，上述支承构件配置于上述第2面侧。

11.根据权利要求8或9所述的输送装置，其特征在于，

上述基板支承体具有第1侧壁和第2侧壁，上述第1侧壁和上述第2侧壁分别具有支承基板的第1面和该第1面的相反侧的第2面，上述第1侧壁和上述第2侧壁以上述第1侧壁的上述第2面与上述第2侧壁的上述第2面相对的方式配置，

上述支承构件配置于上述第1侧壁与上述第2侧壁之间。

12.根据权利要求11所述的输送装置，其特征在于，

上述第1侧壁和上述第2侧壁以上述第1侧壁与上述第2侧壁的间隔随着朝向下方去而增大的方式配置。