[发明专利]真空清洗装置以及真空清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种向处于减压下的清洗室供给石油系溶剂的蒸气而对工件进行清洗的真空清洗装置以及真空清洗方法。本申请主张2011年11月25日提出的第2011-257625号日本专利申请的优先权，在此引用其内容。

背景技术

以往，例如公知有日本国特开2003-236479号公报（专利文献1）所示的真空清洗装置。根据该真空清洗装置，首先进行通过真空泵对运入了工件的蒸气清洗、干燥室进行减压的减压工序。之后向蒸气清洗、干燥室供给石油系溶剂的蒸气，进行清洗工件的蒸气清洗工序。接着将工件浸渍在贮留在浸渍室中的石油系溶剂中，进行重点对在蒸气清洗工序中清洗不充分的工件的间隙等进行清洗的浸渍清洗工序。

这样，当工件的清洗完成时，将工件再次运送到蒸气清洗、干燥室中。之后对蒸气、干燥室进一步进行减压，进行使附着在工件表面的溶剂蒸发的干燥工序。并且在干燥工序结束后，使蒸气清洗、干燥室恢复成大气压。之后运出工件，一系列的工序结束。

根据上述专利文献1的真空清洗装置，在干燥工序中，通过真空泵对蒸气清洗、干燥室进行真空抽吸而将其减压。此时，通过以往的机械的旋转驱动式真空泵对被蒸气气化成100倍以上的体积的气体进行排气干燥并不容易。而且，若为了提高干燥性而进一步进行减压，则气体进一步膨胀而花费排气时间。因此，在该以往的干燥方法进行的干燥工序需要较长时间。即，在提高稳定的清洗品质并且提高生产性的干燥工序中，希望其时间缩短。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够缩短工件干燥所需要的时间、提高整体的处理能力的真空清洗装置以及真空清洗方法。

本发明为了解决上述问题而提供了以下的技术方案。本发明的第1技术方案是一种真空清洗装置。该真空清洗装置具备：生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构，能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室，与上述清洗室相连并保持减压状态的冷凝室，将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构，以及使上述冷凝室与上述清洗室连通或者隔断该连通的开闭机构。

本发明的第2技术方案是在上述第1技术方案所涉及的真空清洗装置中，上述温度保持机构将上述冷凝室的温度保持在上述石油系溶剂的冷凝点以下。

本发明的第3技术方案是在上述第2技术方案所涉及的真空清洗装置中，还具备将从上述清洗室导入上述冷凝室并冷凝后的石油系溶剂从上述冷凝室向上述蒸气生成机构引导的回收机构。

本发明的第4技术方案是在上述第1～3任一项的技术方案所涉及的真空清洗装置中，还具备与上述清洗室相连、贮留上述石油系溶剂并且能够将工件浸渍在该石油系溶剂中的浸渍室。

本发明的第5技术方案是一种真空清洗方法。该真空清洗方法包括如下工序：对运入了工件的清洗室以及与该清洗室相连的冷凝室进行减压的工序，生成石油系溶剂的蒸气并将该蒸气向处于减压下的上述清洗室供给、对上述工件进行清洗的工序，将处于减压下的上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的工序，以及在上述清洗室中的工件的清洗后使该清洗室与上述冷凝室连通的工序。

根据本发明，能够缩短工件的干燥所需要的时间，提高整体的处理能力。

附图说明

图1是用于说明第1实施方式的真空清洗装置的概念图；

图2是说明第1实施方式的真空清洗装置的处理工序的流程图；

图3是表示以往的真空清洗装置进行的干燥工序的试验数据的附图；

图4是表示第1实施方式的真空清洗装置进行的干燥工序的试验数据的附图；

图5是表示以往的真空清洗装置进行的干燥工序的其它试验数据的附图；

图6是表示第1实施方式的真空清洗装置进行的干燥工序的其它试验数据的附图；

图7是用于说明第2实施方式的真空清洗装置的概念图；

图8是说明第实施方式的真空清洗装置的处理工序的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式详细地进行说明。本实施方式中所表示的尺寸、材料、及其它具体的数值等不过是为了使发明容易理解的例示，除了特别的情况之外，并不是对本发明进行限定。另外，在本说明书以及附图中，针对实质上具有相同的功能以及结构要素赋予相同的附图标记而省略重复的说明。而且，针对与本发明没有直接关系的要素省略其图示。