[发明专利]真空清洗装置以及真空清洗方法

权利要求书

1. 一种真空清洗装置，其特征在于，具备：

生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构，

能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室，

与上述清洗室相连并保持减压状态的冷凝室，

将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构，

使上述冷凝室与上述清洗室连通或者隔断该连通的开闭机构。

2. 如权利要求1所述的真空清洗装置，其特征在于，上述温度保持机构将上述冷凝室的温度保持在上述石油系溶剂的冷凝点以下。

3. 如权利要求2所述的真空清洗装置，其特征在于，还具备将从上述清洗室导入上述冷凝室并冷凝后的石油系溶剂从上述冷凝室向上述蒸气生成机构引导的回收机构。

4. 如权利要求1～3中任一项所述的真空清洗装置，其特征在于，还具备与上述清洗室相连、贮留上述石油系溶剂并且能够将工件浸渍在该石油系溶剂中的浸渍室。

5. 一种真空清洗方法，其特征在于，包括如下工序：

对运入了工件的清洗室以及与该清洗室相连的冷凝室进行减压的工序，

生成石油系溶剂的蒸气并将该蒸气向处于减压下的上述清洗室供给、对上述工件进行清洗的工序，

将处于减压下的上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的工序，

在上述清洗室中的工件的清洗后使上述清洗室与上述冷凝室连通的工序。