[发明专利]测试电路、集成电路、以及测试电路布局方法无效
| 申请号: | 201210226232.X | 申请日: | 2012-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN102867760A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
| 发明(设计)人: | 小川和久 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G06F17/50 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 黄小临 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 测试 电路 集成电路 以及 布局 方法 | ||
1.一种测试电路,包含:
基板;
配线部分,具有多段配线,并且所述配线部分被形成在所述基板上;以及
被测器件部分,被形成在所述基板上,并且具有被测器件主体和多个连接电极,其中,所述多个连接电极用于分别建立所述被测器件主体和所述多段配线之间的连接,将连接所述被测器件主体的图案形成的平面上的旋转中心的位置和所述多个连接电极中的每一连接电极的直线的延伸方向朝向所述多段配线的延伸方向倾斜预定角度,并且将所述多个连接电极排列在这种位置上以便:即使是当所述被测器件主体和所述多个连接电极围绕所述旋转中心的位置、相对于所述图案形成的平面上的所述配线部分旋转90度时,也能够维持所述多个连接电极和所述多段配线之间的连接关系。
2.根据权利要求1所述的测试电路,
其中,所述预定角度为45度。
3.根据权利要求2所述的测试电路,
其中,当将所述被测器件主体的图案形成的平面上的所述旋转中心的位置设置为原点时,将所述多段配线的延伸方向设置为X轴方向,且将与所述多段配线的延伸方向相垂直的方向设置为Y轴方向,在将所述被测器件主体和所述多个连接电极在图案形成的平面上、围绕所述旋转中心的位置旋转90度之前的状态下,将所述多个连接电极排列在Y=-X所代表的直线上的位置处。
4.根据权利要求2所述的测试电路,
其中,当将所述被测器件主体的图案形成的平面上的所述旋转中心的位置设置为原点时,将所述多段配线的延伸方向设置为X轴方向,将与所述多段配线的延伸方向相垂直的方向设置为Y轴方向,在将所述被测器件主体和所述多个连接电极在图案形成的平面上旋转90度之前的状态下,将所述多个连接电极排列在Y=X所代表的直线上的位置处。
5.根据权利要求2所述的测试电路,
其中,当将所述被测器件主体的图案形成的平面上的所述旋转中心的位置设置为原点时,将所述多段配线的延伸方向设置为Y轴方向,将与所述多段配线的延伸方向相垂直的方向设置为X轴方向,在将所述被测器件主体和所述多个连接电极在图案形成的平面上旋转90度之前的状态下,将所述多个连接电极排列在Y=-X所代表的直线上的位置处。
6.根据权利要求2所述的测试电路,
其中,当将所述被测器件主体的图案形成的平面上的所述旋转中心的位置设置为原点时,将所述多段配线的延伸方向设置为Y轴方向,将与所述多段配线的延伸方向相垂直的方向设置为X轴方向,在将所述被测器件主体和所述多个连接电极在图案形成的平面上旋转90度之前的状态下,将所述多个连接电极排列在Y=X所代表的直线上的位置处。
7.根据权利要求2所述的测试电路,
其中,所述配线部分具有被形成以沿一个预定方向延伸的第一配线以及被形成以沿与所述预定方向相垂直的方向延伸的第二配线,
所述被测器件部分具有用于在所述被测器件主体和所述第一配线之间建立连接的第一连接电极以及用于在所述被测器件主体和所述第二配线之间建立连接的第二连接电极,以及
当将所述被测器件主体的图案形成的平面上的所述旋转中心的位置设置为原点时,将所述第一配线的延伸方向设置为X轴方向,将所述第二配线的延伸方向设置为Y轴方向,在将所述被测器件主体和所述多个连接电极在图案形成的平面上旋转90度之前的状态下,将所述第一连接电极布置在Y=X所代表的直线上的位置处,将所述第二连接电极布置在Y=-X所代表的直线上的位置处。
8.根据权利要求1所述的测试电路,
其中,所述被测器件主体为金属氧化物半导体晶体管,所述被测器件部分具有分别连接到所述金属氧化物半导体晶体管的栅极、源极、漏极、以及阱的4个连接电极,以及
所述配线部分具有分别连接到所述4个连接电极的4段所述配线。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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