[发明专利]用于把金属表面附着到载体的方法以及包装模块有效
| 申请号: | 201210220306.9 | 申请日: | 2012-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN102856219A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
| 发明(设计)人: | K.霍赛尼;J.马勒;M.门格尔;H.托伊斯 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王岳;李浩 |
| 地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 金属表面 附着 载体 方法 以及 包装 模块 | ||
1.一种用于把金属表面附着到载体的方法,所述方法包括:
将多孔层沉积在金属表面和载体侧面的至少一项之上;以及
通过将一种材料引入到所述多孔层的各个孔中而将金属表面和载体侧面的所述至少一项附着到所述多孔层,从而使得所述材料形成金属表面与载体之间的互连。
2.根据权利要求1的方法,其中将多孔层沉积在金属表面和载体侧面的至少一项之上包括:沉积厚度处在从大约1μm到150μm的范围内的多孔层。
3.根据权利要求1的方法,其中将多孔层沉积在金属表面和载体侧面的至少一项之上包括:将粒子沉积在金属表面和载体侧面的所述至少一项之上,从而形成所述多孔层的各个孔。
4.根据权利要求3的方法,其中形成所述多孔层的各个孔包括:形成大于大约50nm的各个孔。
5.根据权利要求3的方法,其中将粒子沉积在金属表面和载体侧面的所述至少一项之上包括:沉积直径处于从大约200nm到40μm的范围内的粒子。
6.根据权利要求3的方法,其中将粒子沉积在金属表面和载体侧面的所述至少一项之上包括:沉积包括隔离材料的粒子。
7.根据权利要求3的方法,其中将粒子沉积在金属表面和载体侧面的所述至少一项之上包括:沉积包括导热材料的粒子。
8.根据权利要求3的方法,其中将粒子沉积在金属表面和载体侧面的所述至少一项之上包括:沉积包括金属和陶瓷的至少一项的粒子。
9.一种用于将芯片附着到芯片载体的方法,所述方法包括:
将多孔层沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的至少一项之上;以及
通过把一种材料引入到所述多孔层的各个孔中而将芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项附着到所述多孔层,从而使得所述材料形成芯片与芯片载体之间的互连。
10.根据权利要求1的方法,其中将多孔层沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的至少一项之上包括:将粒子沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项之上,因此形成所述多孔层的各个孔。
11.根据权利要求10的方法,其中将粒子沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项之上包括:通过冷喷涂工艺或者通过冷等离子体工艺来沉积粒子。
12.根据权利要求10的方法,其中将粒子沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项之上包括:沉积直径处于从大约200nm到40μm的范围内的粒子。
13.根据权利要求10的方法,其中将粒子沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项之上包括:沉积包括金属和陶瓷的至少一项的粒子。
14.根据权利要求10的方法,所述方法还包括:
在把粒子沉积在芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项之上以后对所述粒子进行加热,从而导致以下情况的至少一项:粒子彼此烧结,以及粒子粘附到芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项。
15.根据权利要求9的方法,其中通过将一种材料引入到所述多孔层的各个孔中而将芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项附着到所述多孔层包括:通过将包括热固材料的一种材料引入到所述多孔层的各个孔中而将芯片侧面和芯片载体侧面的所述至少一项附着到所述多孔层。
16.根据权利要求10的方法,其中将一种材料引入到所述多孔层的各个孔中包括:增强所述多孔层与所述芯片和芯片载体的可湿性。
17.根据权利要求10的方法,所述方法还包括:
对所述互连进行热硬化,以便将所述互连固定在所述多孔层内并且把所述芯片固定到芯片载体。
18.根据权利要求10的方法,其中形成所述芯片与芯片载体之间的互连包括:形成所述芯片与包括印刷电路板的芯片载体之间的互连。
19.根据权利要求10的方法,其中形成所述芯片与芯片载体之间的互连包括:形成所述芯片与包括另一个芯片的芯片载体之间的互连。
20.根据权利要求10的方法,其中形成所述芯片与芯片载体之间的互连包括:形成所述芯片与包括引线框的芯片载体之间的互连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





