[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及从喷嘴吐出液体而在被记录介质形成图像或文字或者薄膜材料的液体喷射头、使用该液体喷射头的液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

近几年，将墨滴吐出至记录纸等而描绘文字、图形或将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头得到利用。该方式为，将墨或液体材料从液体罐经由供给管而供给至液体喷射头，使填充于通道的墨或液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在墨的吐出时，使液体喷射头或记录所喷射的液体的被记录介质移动，记录文字或图形或者形成既定形状的功能性薄膜。

在专利文献1中，记载了在由压电体材料构成的薄板形成有由许多槽构成的墨通道的喷墨头100。图14是专利文献1的图2所记载的喷墨头60的剖面图。喷墨头60具有基板62、压电部件65以及盖部件64的层叠构造。在基板62的中央形成有供给口81，以夹着供给口81的方式形成有排出口82。在基板62的表面接合有压电部件65和框部件63，在压电部件65和框部件63的上表面接合有盖部件64。

将使极化方向互相对置的2块压电板73粘在一起而形成压电部件65。在压电部件65形成有沿副扫掠方向（与纸面平行的方向）延伸的多条微细的槽，形成有沿主扫掠方向（与纸面垂直的方向）等间隔地并排的多个压力室74。压力室74（通道）由邻接的一对壁75划分，电极76连续形成于一对壁75的相面对的侧面和其间的底部，而且经由形成于基板62的表面的电布线77而与IC 66电连接。盖部件64，经由接合剂而将膜92和增强部件94粘在一起，使增强部件94成为压电部件65侧，接合于压电部件65和框部件63。在增强部件94和膜92形成有与各压力室74相对应的开口96和喷嘴72。

墨从基板62的中央的供给口81供给，流动至多个压力室74，进一步流动至墨室90，从排出口82排出。而且，如果将驱动脉冲从IC 66经由电布线77而施加至夹着压力室74的一对壁75的电极76，则一对壁75发生剪切模式（シエアーモード，shear mode）变形，以弯曲的方式背离，接着，复位至初始位置，提高压力室74内的压力。与此相伴的是，从喷嘴72吐出墨滴。

在此，盖部件64的膜92使用聚酰亚胺膜，增强部件94使用SUS、Ni、Ti、Cr等的金属箔。作为盖部件64，在设为聚酰亚胺膜92的单层的情况下，聚酰亚胺膜使利用激光来进行的喷嘴72的形成容易，但刚性比金属等更小，因而在使壁75发生剪切模式变形时，膜伸展。因此，不能效率良好地将压力传递至填充于压力室74内的墨。于是，作为盖部件64，将聚酰亚胺膜92和具有比该聚酰亚胺膜92更大的刚性的金属箔粘在一起。由此，在使壁75发生剪切模式变形时，能够固定壁75的上端部，能够消除使墨滴吐出时的压力损失。此外，聚酰亚胺膜92厚度为50μm，作为增强部件94的金属箔厚度为50μm~100μm。另外，为了使形成于壁75的壁面的电极76和增强部件94的金属箔不短路，在金属箔的电极76侧的表面形成有SiO₂膜95。

专利文献1：日本特开2009－196122号公报。

然而，喷墨头的吐出面通常具有数十mm以上的长度。厚度为50μm~100μm且外径为数十mm以上的大小的金属箔容易翘曲，难以经由接合剂而平坦地贴附于壁75的上端面。另外，在将接合剂介于其间而将厚度50μm的聚酰亚胺膜92和该金属箔粘在一起时，也难以消除翘曲。

于是，考虑先将厚的金属板贴附于壁75的上端面并随后将金属板磨削成上述厚度而作为金属箔的方法。在这种情况下，预先在金属板形成开口96，磨削该金属板而使该金属板薄板化。可是，如果磨削金属板，则开口96的端部变形或产生毛刺，不能维持开口96的形状。另外，如果以增强部件94作为金属材料，则与形成于壁75的壁面的电极76发生短路，因而为了防止短路，必须在金属材料的表面形成SiO₂膜95，工时增加，成为成本提高的原因。另外，作为增强部件94的金属箔与墨接触。因此，如果使用腐蚀性的墨，则有可能金属材料腐蚀而喷墨头的耐久性下降。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供增强部件的接合容易且可靠性高的液体喷射头。 

本发明的液体喷射头，具备：构成槽的侧壁；增强板，具有与所述槽连通的贯通孔，由陶瓷材料构成，设置于所述侧壁的下方；喷嘴板，具有开口于所述贯通孔的喷嘴，设置于所述增强板的与侧壁侧相反的一侧；驱动电极，形成于所述侧壁的壁面；以及盖板，具有将液体供给至所述槽的供给口和从所述槽排出液体的排出口，设置于所述侧壁的上方。